思锐智能半导体装备中心落成,填补青岛产业空白
来源:龙灵 发布时间:2025-06-30
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据报道,思锐智能半导体先进装备研发制造中心在青岛自贸片区正式投入生产。该项目由青岛思锐智能与青岛城投集团联合打造,占地约95亩,总建筑面积达8.6万平方米,计划总投资超过12亿元人民币。据官方消息,该中心将专注于原子层沉积镀膜(ALD)和离子注入机(IMP)两大关键半导体前道设备的研发与规模化生产。
据公开资料显示,思锐智能是国内唯一一家能够同时提供离子注入机和原子层沉积设备,并实现关键技术自主突破的企业。公司产品广泛应用于集成电路、第三代半导体、新能源、光学、生物医学等高精尖领域。自2018年收购芬兰倍耐克公司(BENEQ)以来,思锐智能通过自主研发完成了面向硅基及化合物半导体的全系列离子注入机布局,并成为国内首家实现工业级量产的供应商。
值得一提的是,思锐智能于2025年2月完成数亿元人民币的B轮及B+轮融资,估值达到41亿元人民币。同时,公司正式启动A股IPO进程,并向中国证券监督管理委员会青岛监管局备案辅导。目前,思锐智能已完成股份制改制,正式更名为“青岛思锐智能科技股份有限公司”,注册资本增至约11.2亿元人民币。

图源:思锐智能
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