据《中国基金报》报道，中微公司近日宣布设立私募基金，进一步拓展其在半导体产业链上下游的投资布局。最新工商信息显示，由中微公司全资子公司中微上海联合自然人刘晓宇、富仁衡共同发起的“智微公司”已于2025年2月14日正式成立。

智微公司注册资本为人民币1,000万元，法定代表人为刘晓宇，经营范围涵盖私募股权投资基金管理及创业投资基金管理服务。股权结构显示，中微上海与刘晓宇分别出资人民币450万元，各持股45%；富仁衡出资人民币100万元，持股10%。

今年1月14日，中微公司曾发布公告称，全资子公司中微上海拟与刘晓宇、富仁衡共同投资设立智微公司，以强化产业链上下游协作。公告指出，刘晓宇和富仁衡为公司关联方，此次投资构成关联交易。

中微公司主要产品包括CCP、ICP设备、深硅刻蚀设备、薄膜沉积设备及MOCVD设备等，部分产品已批量应用于全球7纳米、5纳米及更先进制程的集成电路生产线。