富加镓业启动6英寸氧化镓生产线,加速产业化进程
来源:ictimes 发布时间:2024-09-17
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氧化镓因卓越性能与成本优势,被视为碳化硅后的半导体新星。近日,杭州富加镓业宣布其6英寸氧化镓单晶及外延片生产线在杭州富阳正式开工,这标志着国内首条同类生产线的诞生。
富加镓业自2019年成立以来,专注于氧化镓材料的产业化,产品广泛应用于功率器件、微波射频及光电探测。作为国内唯一掌握6英寸单晶生长及外延技术的企业,富加镓业此次开工的生产线将加速氧化镓的产业化进程。
氧化镓单晶通过熔体法生长,在成本、质量及尺寸上优于其他宽禁带半导体材料。其热处理温度与硬度接近单晶硅,转换生产线设备仅需少量调整,降低了产业升级门槛。
富加镓业已突破6英寸氧化镓单晶衬底制备及外延技术,达到硅基器件线产业化标准。国内厂商与研究机构正加速布局氧化镓产业,如中国电科46所、北京铭镓半导体及镓仁半导体等均取得显著成果,推动行业快速发展。
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