中导光电:NanoPro-150已再次交付客户
来源:ictimes 发布时间:2023-11-22 分享至微信

中导光电近日再次交付了其纳米级图形晶圆缺陷光学检测设备(NanoPro-150)给客户。该设备是半导体芯片制造过程中的核心设备之一,对于提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代起着重要作用。


据悉,NanoPro-150产品灵敏度达到纳米级序列,能够满足半导体芯片90nm及以上产线制造工艺需求。去年,该型号首台设备已交付给国内知名功率半导体企业使用,如今再次迎来订单,表明市场对该设备的高度认可。


NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端产品,与国际顶尖公司同类产品在主要性能参数方面相近,同时还引入了许多先进的AI算法和软件,提高了信噪比,显著提升了设备在关键制程的缺陷检测灵敏度和检出率。


此外,该设备还可兼容不同晶圆尺寸,拓展了设备使用范围。同时,该产品实现了精密光机电关键核心部件的国产化和自主可控,为产品的量产和稳产提供了保障。

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