剑指7纳米!俄罗斯自研光刻机,能成吗?
来源:芯师爷 发布时间:2023-05-04 分享至微信

据俄罗斯媒体报道称,为了推进自研光刻机进度,俄罗斯方面将为两大白俄罗斯微电子领域项目提供约100亿卢布(约合人民币8.8亿元)信贷支持,受资助企业包括集成电路成套工艺领域的Integral和精密光刻设备领域的Planar。


图源:ASML


资料显示,Planar公司(KBTEM-OMO)是东欧最大的半导体设备供应商,已有50余年的半导体设备研发与制造历史,其产品包括基于激光直写的图形发生器、掩模检测设备、掩模修补设备、接近/接触光刻机、投影光刻机与硅片检测设备等。


白俄罗斯方面还透露,已经签署了关于建立两国光掩模开发和生产联合中心的协议,“这将使我们能够开展联合开发工作,并减少白俄罗斯和俄罗斯消费者对进口供应的依赖”。


实际上,早在2022年10月,俄罗斯大诺夫哥罗德策略发展机构就曾宣称,俄罗斯科学院旗下应用物理研究所将会在2028年开发出可以生产7纳米芯片的光刻机,该设备将采用紧凑型11.3纳米光源(商用EUV光源为13.4纳米),“效率将比ASML的设备高1.5-2倍”。


大家对此怎么看?能成吗?


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