是德第叁代参数测试方案缩短上市时间

是德科技(Keysight Technologies)日前宣佈推出第叁代的Keysight P9000系列大规模并联参数测设系统。该系统可加速推动新技术的发展，并且降低先进半导体逻辑和记忆体IC的研发和製造成本。举例而言，新型元件结构和更高的效能，让每个先进技术节点(小于或等于20 nm)所需的参数测试资料急遽增加。

Keysight P9000可使用专用的接脚测试单元模组，在硅晶圆上进行100-pin多元件并联测试。该模组具有参数测试所需的所有基本量测功能，例如电压、电流、电容、脉衝和频率。此外，直接电荷量测(DCM)技术使得高速100-pin并联电容量测变得可能。

第二代P9000包含是德科技研发的快速Vt量测技术，可提供单次临界电压(Vt)量测，因此量测速度比任何传统测试方法快了四倍以上。除了100-pin并联量测外，DCM和高速Vt量测技术所提供的更快速单一参数量测，进一步增进了测试速度。因此，先进晶圆代工厂和记忆体製造商纷纷採用第一代和第二代P9000平台作为他们的下一代参数测试解决方案。

随着第叁代P9000的问世，加上Keysight P9015A接脚参数测试模组的辅助，该测试仪进一步缩短了电容量测时间，并解决因多层互连和新元件架构导致电容测试量增加的问题。新模组使用增强的DCM技术，可量测洩漏电容，将单一电容量测速度大幅提升了两倍以上。相较于传统的LCR量测仪器，它与各种类型的电容都有很好的资料相容性。此外，100-pin并联电容量测也让客户得以显着提高量测速率量。