半导体真空泵设备在中芯国际测试，汉钟精机什么来头？

半导体真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程。据悉，国内领先的螺杆压缩机与真空泵设备供应商汉钟精机公司半导体真空设备目前在中芯国际已处于测试验证阶段，具体进度取决于中芯国际的安排。

此前，汉钟精机在回答投资者提问时表示，公司真空泵主要用于半导体、光伏、锂电池等行业，目前在半导体行业主要为进口品牌，国产品牌占比很小，在光伏行业特别是单晶拉晶环节，公司占比较高，锂电市场公司占比同样较高。

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目前，在中国台湾已有台积电、力积电、日月光、力成等半导体公司使用汉钟精机真空泵，在中国大陆市场，该公司已成功通过国内多家大型半导体企业的验证。

据了解，汉钟精机公司专注于螺杆式压缩机相应技术的研制开发、生产销售及售后服务，成就国内压缩机领军企业。公司于 1998 年由台湾汉钟全资子公司海尔梅斯公司独资成立，于 2007 年 8 月 17 日在深圳证券交易所上市。

自成立以来，公司专门从事螺杆式压缩机相应技术的研制开发、生产销售及售后服务，经过多年的发展，已成为集压缩机的设计研发、生产制造、品质保证、销售服务各系统于一体的，在中国大陆颇有实力的压缩机生产厂家，在螺杆式压缩机领域拥有雄厚的技术实力。公司将螺杆式压缩技术应用于不同的工作工质，如空气、真空、制冷剂、特殊气体等，成为全球应用工质最多的螺杆式压缩机生产企业之一。

公司注重技术研发投入，经历多年发展和积累，在螺杆、涡旋、离心等压缩机领域已拥有自己雄厚的技术实力。公司通过高温热泵、ORC、闪蒸系统、电能管理系统、永磁无刷变频、离心式等节能环保产品，为市场提供更全面服务。不断加强研发投入和技术创新，取得了行业内领先的技术研发优势。在 2019 年前三季度公司的研发投入费用为 85.96 百万元，占营业收入的 6.84%，同比增长 1.18%。截至 2019 年上半年，公司已拥有 63 项专利，其中发明专利 6 项、实用新型专利 46 项、外观设计专利 11 项。