大族激光3-5μm光刻机已接到订单，国产半导体设备产业正艰难翻身

日前， 大族激光在互动平台上表示，公司在研光刻机项目分辨率 3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED 等方面的应用，目前已接到少量订单。

此前，大族激光也在互动平台表示，公司在研光刻机项目主要聚焦在分立器件、LED 等领域的应用，尚未实现销售。

数据显示，大族激光目前市值 420 亿元。

图源：Bloomberg

众所周知，高端芯片制造所需的光刻机一直以来被荷兰 ASML 公司垄断，一台精密光刻机售价上百亿，而我国半导体行业起步较晚，光刻机技术与 ASML 的差距非常大。

具体地，我国光刻机最高技术也就上海微电子所生产的 90nm 光刻机。除此之外，目前合肥芯硕半导体公司也具备量产 200nm 光刻机的实力，无锡影幻半导体公司也具备 200nm 光刻机量产的实力。而 ASML 则在 7nm 级别。

简单来看，这些数字差距可能看起来不大，但事实上，90nm 跟 28nm 或者是 7nm 是千差万别的，光刻机每上一个台阶技术难度就会大大增加，可能从 90nm 升级到 65nm 并不难，但是从 65nm 升级到 45nm，就是一个技术节点了，至于 28nm、14nm 和 7nm，甚至未来有可能出现的 3nm，那难度就更大了。

也正因为如此，我国的光刻机的研发进度一直都比较缓慢，而随着大族激光在研光刻机项目的有序推进，也为我国光刻机的研发向前推进提供了一点点助力。