凯世通半导体成功研发低能大束流离子注入机 打造集成电路装备的大国重器

据悉，上海凯世通半导体股份有限公司已研发出最新的集成电路离子注入机，其定位是超高先进半导体工艺的低能大束流，将于年底将进行量产。

在摩尔定律的推动下，集成电路的线宽将不断缩小以应对元器件集成度大幅提高的要求下，这也意味着凯世通的超高先进工艺设备将帮助芯片制造技术性能升级，进一步印证公司在离子注入工艺领域内遥遥领先。

图源：凯世通官网

据了解，离子注入在芯片制造前道工艺中是不可或缺的工艺，而低能大束流离子注入机更是半导体制造中最为核心设备之一，其开发难度仅次于光刻机，存在较高的行业竞争壁垒，而凯世通是国内唯一全领域离子注入机公司，产品覆盖集成电路、光伏和 AMOLED 领域等。

凯世通总经理陈克禄博士表示，“公司自主研发的低能大束流离子注入机不仅要国产替代，而且要领先全球。”目前该产品在低能和大束流等核心指标，特别是束流强度指标上，已达到或超过国外同类产品，因此可更好的降低单位成本消耗，满足国内集成电路行业实际应用。目前该产品也已顺利进入离子注入晶圆验证阶段，将于今年年底将实现量产，这标志着公司具备先进制程的低能大束流离子注入整机工艺验证的能力，未来有望为全球先进制程逻辑、存储、5G 射频、摄像头 CIS、功率半导体等不同应用领域芯片客户提供离子注入工艺验证服务。

此外，值得关注的是凯世通自主研发的低能大束流集成电路离子注入机荣获了北京市科学技术奖技术进步一等奖。同时，凯世通“高能离子注入机关键技术研究与样机验证”项目也被正式列入上海市 2019 年度“科技创新行动计划”集成电路领域立项项目清单。因其在集成电路装备领域的战略地位和代表意义，该项目入选了上海市科技小巨人工程，荣膺上海市政府颁发的“上海市科学技术奖”、浦东新区政府颁发的“上海市浦东新区科学技术奖”等诸多奖项。

陈克禄博士还介绍到，公司聚焦于集成电路，研发上采取“领先一步”的策略，以离子束技术为核心研发了三种不同类型的离子注入机设备，主要应用在集成电路、光伏、AMOLED 领域。同时，陈克禄博士携记者参观了部分样机，其中展示的光伏离子注入机经过了四代迭代，产能已经达到每小时 6000 片，目前全球市占率超过 93%，在光伏行业内具备绝对的竞争优势。

上海凯世通半导体股份公司是一家以离子束技术为核心的集科研、制造于一体的高科技企业，主要研制、生产、再制造和销售高端离子注入机，重点应用于光伏太阳能电池，新型平板显示，和半导体集成电路领域。