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来源:经济日报发布时间:2019-02-18207浏览
询问 AI台积电因光阻剂出包调降本季展望,熟悉半导制程专家表示,光阻剂是否有问题,很难在进料前检验出来。 此次事件之后,台积电势必更会为相关检测把关,虽然有助于降低出包率,但也恐因此提高晶圆制程在线检测频率,导致先进制程交货期拉长、成本因而增加,成台积电未来要克服的难题。
台积电强调,已通知所有受到此次事件影响的客户,并与其保持密切联系,同时个别沟通替代方案和产品交期。 公司也已采取行动,加强在线晶圆检测并对进货原料更严加控管,以因应日益复杂的先进制程技术。
专家表示,半导体化学品品项众多,以光阻剂为例,一定要经过黄光制程曝光反应后,才能知道每批光阻剂的特性,很难在进料前就会发现瑕疵。 台积电这次事件,应是让硅晶施作跑到制作完成,在检测晶圆电讯特性时才发现有异,但晶圆前段曝光影像制程速度相当快,如果无法在晶圆检测发生缺陷时就先挡下,就会面临严重后果。
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