LED行业用光阻剂的简介及应用实例探讨

        蓝光LED产品问世，开启全彩化的LED看板在显示面板的应用发展，由于发光二极管的发光特色，加上LED具有体积小、耗电少、寿命长、耐冲撞等优点，随着生产技术、设备的改良，产品价格加速合理化，进而扩大LED产业的应用领域，如家电产品的指示灯、汽车车灯、交通号志及户外大型看板等。白光LED的开发成功，更将成为室内照明及手机面板背光源的替代品，使LED产业未来的市场领域更宽广。

        光阻，亦称为光阻剂，是一个用在许多工业制程上的光敏材料。像是光刻技术，可以在材料表面刻上一个图案的被覆层。

　　光阻有两种，正向光阻（positivephotoresist）和负向光阻（negative photoresist）

　　正向光阻是光阻的一种，其照到光的部分会溶于光阻显影液，而没有照到光的部份不会溶于光阻显影液。

　　负向光阻是光阻的一种，其照到光的部分不会溶于光阻显影液，而没有照到光的部份会溶于光阻显影液。

　　正型光阻剂及负型光阻剂主要是应用在LED芯片制造的金属电极蒸镀Lift-off制程中，由于LED电极所使用的金属材料不易经由蚀刻的方式制作电路图形，所以利用拔起（Lift-off）微影制程，得到突起的（Overhang）光阻图形，使金属在蒸镀过程中不会连续性满布在光阻剂上，再用去光阻剂的方式将未遭金属布盖的光阻部份拔起，完成金属电极的图案。

　　半导体制程常用的正型光阻剂，在光学曝光方式下，光阻剂上层接受能量较下层光阻高，使得正型光阻剂成像大部份图形为上窄下宽，无法经一次曝光方式即得到Overhang的图形，而负型光阻剂的成像恰好与正型光阻剂图像相反，所以负型光阻剂是lift-off制程的最佳选择。

        例如ENPI200光阻剂，主要是以酚醛树脂（Novolak）及光酸为主体的化学增辐（Chemically amplified）负型光阻剂，由于酚醛树脂可溶于碱水溶液，相较于橡胶质（Rubber type）的负型光阻剂具有环保的优点。该光阻剂成像原理为，在曝光区块因光酸接收能量产生酸，再经曝后烤的高温使酚醛树脂与交连剂产生Cross-linking交联反应而留下图案。高解析lift-off光阻剂EPI622，则需配合客户特殊的制程可将Overhang光阻图线宽缩至1um以下，这适用于高亮度LED细线宽制程。