国产设备在28nm制程实现市场突破，未来有望在竞争中胜出?

2016年我国宣布了多个新的存储厂或Foundry厂的投资，这是对设备业的一个重要机会。但从整体发展水平上看，中国半导体设备业与国际水平相差仍然很多。中国设备企业如何借助这次历史机遇，发挥优势做大做强呢?

装备业迎来黄金发展期

伴随全球半导体产业向亚太地区转移的产业大势，中国半导体市场在全球市场中份额与价值不断提升，中国半导体产业已经进入了历史发展的黄金时期。过去的两三年中，国际和国内半导体制造厂商几乎全线挺进中国大陆，不遗余力地进行产能扩张，这为发展中国国产半导体装备业带来了发展机遇。我们应该如何抓住机遇，借机做大、做强中国半导体装备产业?对此，北方华创科技集团股份有限公司高级副总裁、首席战略官张国铭在接受《中国电子报》记者采访时指出：“从历史上看，每一次市场转移和产业振兴都为配套产业的发展带来了机遇。当下全球一流的半导体制造商和我们本土优秀的半导体芯片制造企业的技术与产能扩张必将带动本土设备技术的发展。与国际一流客户在地域上的亲近以及良好的服务体系无疑为本土设备商协同客户发展提供了极好的契机。根据目前各大厂商公布的未来几年在中国大陆扩张的技术规划，未来几年我们在设备技术的发展方向上至少可以在以下几个方面得以突破：16/14nm及以下的FinFET技术发展，多次曝光技术带来设备技术和设备数量的需求，3D NAND闪存技术所带来的设备需求以及3D封装技术对晶圆级封装设备的需求突破……”

“这是在延伸摩尔定律方面对设备在技术和市场体量方面的需求，我们只要紧跟客户需求，一定能在技术上加快追赶步伐。而多元化的下游应用驱动又为上游市场带来了多样化的设备需求，未来物联网、传感器与汽车电子等产业的蓬勃发展未必要求最先进的技术制程，却对设备能够满足多样化的需求提出了要求。国产设备在28nm及以上的制程已经实现了市场突破，只要我们能够丰富产品种类，拓宽应用领域，满足客户多样化的工艺需求，未来完全有机会在适应性与灵活性上与国际对手从同一起跑线上竞争，并非常有望在市场选择中得以胜出。”兼任北京北方华创微电子装备有限公司副总裁的张国铭进一步表示。

上海兆芯集成电路有限公司副总裁傅城也表示，我国这些年来扶持发展了一些设备企业。这些企业当前阶段，首要立足的仍是国内市场。过去十几年中国内半导体设备市场其实并不大，在2015年以前基本上每隔2～3年才会发布一个12英寸或8英寸项目。这样的市场规模，很难喂饱一家规模设备企业。现在随着多个大型项目的发布，至少从市场层面规模在扩大，如果每年启动3～4条生产线的建设，并保持这种成长速度，相信3～5年后支撑起5～6家国内设备企业是有可能的。当然前提条件是有一定的政策倾斜。比如规定在符合设备规格条件的情况下，要至少有一半设备从国内供应商采购。这样就会给国有设备厂商一个成长的机会。设备厂的成长需要有适当的商业环境，资金、人才、技术的积累都需要一个过程。

应鼓励本土设备采购

既然当前市场给了中国半导体装备业发展的机遇与途径，应当从国家层面给予设备企业哪些支持呢?对此，张国铭认为：“20世纪以后，经过十余年的发展，中国半导体装备业已经涌现出了几家技术与规模兼具的先锋企业，完全有能力担当起行业领头羊的角色。过去中国半导体设备产业给外界的整体印象是小、弱、散，新的发展形势下，国内设备商有必要，也具备了通过合作、整并提升整体实力的条件和契机。国之重器在精而不在多，即便是荷兰、美国、日本这样的半导体装备发达国家，设备的代表性厂商也不过1~2家，这是国际同行给予我们的经验启示。另外，通过整合并购打通的供应链、客户、渠道和人才团队也是提升和改善小、弱、散的有效途径。所以，国家应该鼓励和支持国内装备企业的合纵联合，以龙头企业为先锋，打造中国半导体装备的国家舰队。在此基础上，鼓励中国企业的出海并购也是打造国际化的中国企业的捷径之一。在不懈强化自身实力的同时，国家应大力支持装备类的战略型企业寻找海外优质标的进行整合并购，并在资本运作、外汇支持、政策审批等方面给予特殊通道的灵活机制。

“此外，目前国产设备仍处于追赶阶段，企业规模和融资能力有限，要想加快追赶速度，需要国家继续加大科技研发资金的支持，在当下以资金换时间。同时，半导体装备业也是人才密集型产业，需要多学科的高端人才支撑，我国对这方面的人才供应缺口很大。因此，一方面需要国家加大微电子等学科人才的培养;另一方面，要加强官、产、学、研紧密合作，如此，不仅能为企业技术发展提供源头上的智力支持，而且也将为企业培养出大批的实用型人才。”张国铭表示。

“最后，产业链的配套实现，除了要依靠上游零部件大力供应，下游客户的使用态度更是至关重要。在这个问题上，国家应该积极鼓励国内主流客户的本土设备采购——在战略型设备的采购行为中坚定体现国家意志，特别是对于那些在技术和市场中已经取得突破的本土化设备。同时，关键零部件本地化也是实现装备产业本土化的决定性因素之一，正如中国半导体设备业的崛起速度还未赶上其市场的崛起速度一样，中国工业基础能力的薄弱同样也制约着设备业的完全国产化。在巨大的市场需求面前，关键零部件仍需依赖进口的现状一方面使我们无法彻底摆脱受制于人的发展隐忧;另一方面使我们不得不将采购视线转向海外，从而在一定程度上提升了设备成本，最终影响国产设备的价格竞争力。”张国铭说。

联华电子股份有限公司中国销售服务处资深处长林伟圣也认为：“中国的优势在于本地的半导体产业投资基金数额庞大，所以在政府资金援助的条件下，国内的设备使用者可以和国内的设备厂商以及高校一起合作来加速基础设备的开发。”