江丰电子副总经理、总工王学泽丨集成电路靶材瞄准先进工艺节点

随着最后一箱靶材装车完成，江丰电子3月份出货任务顺利收官。公司最新数据显示，3月份靶材产量首次突破万枚，月产靶材量和月出货量双双创历史新高。该公司副总经理、总工程师王学泽在接受《中国电子报》记者采访时表示，虽然受到新冠肺炎疫情影响，但由于中国集成电路产业增幅较大，且不少产线仍在扩充产能，因此，国内对集成电路材料的需求也呈增长态势。作为国内集成电路用高纯溅射靶材单项冠军示范企业，江丰电子化新冠肺炎之“危”为公司发展之“机”，努力成为国际一流的高纯度金属及溅射靶材生产企业。

疫情对中国半导体产业影响是暂时的

王学泽告诉记者，新冠肺炎疫情的突然爆发，并没有让江丰电子措手不及，这都得益于公司此前进行的比较充分的准备。“从去年年底到今年年初，我们和客户进行了密切沟通，确定了今年第一季度的订单。从数字上看，比去年同期增长了很大一部分。”王学泽说。

1月24日，江丰电子紧急成立了疫情防控指挥中心，陆续成立11个工作小组，提前部署安排工作，汇集一批党员、核心骨干成立了抗疫先锋队，提前筹集口罩、测温仪、消毒液等抗疫物资，每天对公司进行消毒作业。全面复产后，公司一手抓防疫，一手抓生产。全员戴口罩、入厂测体温、定时定点消杀、分批就餐、取消大型会议、领导坚守岗位、办公室人员支援一线、提高原材料备货、派专车送货等一系列措施精准有效，在保证员工零感染的前提下，没有延误任何一个订单，生产节奏紧张有序、发货数量屡创新高。

王学泽给出了一组数字。总体来看，江丰电子2月份的出货量比同期增长了70%以上，今年第一季度的销售额也保持30%的增长。虽然面临一些短期困难，但疫情对江丰电子2020年整体发展战略和方向影响不大。“至于疫情对整个半导体产业产生多大影响，现在还不是很明朗。半导体产业是全球性产业，疫情发生对后端消费市场带来的影响较大，由此会波及集成电路产业。业内专家给出的预判是，今年全球半导体市场将呈下降趋势。但是中国的集成电路产业，由于防护措施做的比较早，也做得比较好，加之疫情过后大量新增消费会带来市场增长，因此可以说，国内集成电路产业受疫情影响只是暂时的，中国集成电路产业全年整体受的影响有限。”王学泽对记者说。

国内靶材已经可以大批量供货

超高纯金属材料及溅射靶材是集成电路制造所必需的关键原材料。王学泽在接受《中国电子报》记者采访时表示，在溅射靶材应用领域中，集成电路对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都有极其严苛的标准，需要掌握生产过程中的关键技术，并经过长期实践才能制成符合工艺要求的产品。因此，集成电路用溅射靶材技术要求最高，价格也非常昂贵。而平面显示器、太阳能电池对于溅射靶材的纯度和技术要求略低一筹，但随着靶材尺寸的增大，对溅射靶材的焊接结合率、平整度等指标也提出了更高的要求。

王学泽介绍说，溅射靶材的质量直接决定芯片的质量，高纯溅射靶材制造环节技术门槛高、设备投资大，具有规模化生产能力的企业数量相对较少，主要分布在美国、日本等国家和地区。近年来，受益于国家从战略高度持续地支持电子材料行业的发展及应用推广，我国开始出现少量专业从事高纯溅射靶材研发和生产的企业，并成功开发出一批能适应高端应用领域的溅射靶材，为高纯溅射靶材大规模产业化提供了良好的研发基础和市场化条件。这些企业通过将溅射靶材研发成果产业化，积极参与溅射靶材的国际化市场竞争，改变了高纯溅射靶材长期依赖进口的不利局面。

据中国电子材料行业协会统计，2019年中国半导体材料市场规模达到81.90亿美元，且多个领域取得突破，其中靶材等细分产品技术标准达到国际一流水平，已经能为本土产线大批量供货。而伴随集成电路及平板显示产业进一步向中国大陆的转移，高端溅射靶材的应用市场亦将迎来快速增长期。

追踪集成电路先进制程节点

王学泽指出，集成电路、平板显示器、太阳能电池等下游客户为了严格控制产品质量，在选择材料供应商时，对其资格认证壁垒较高，且认证周期较长。

我国高纯溅射靶材企业要进入国际市场，首先要通过部分国际组织和行业协会为高纯溅射靶材设置的行业性质量管理体系标准，例如，应用于汽车电子的半导体厂商普遍要求上游溅射靶材供应商能够通过ISO/TS16949质量管理体系认证，应用于电器设备的溅射靶材生产商需要满足欧盟制定的RoHS强制性标准;其次，集成电路、平板显示器、太阳能电池等下游国际厂商均建立了十分完善的客户认证体系，在高纯溅射靶材供应商满足行业性质量管理体系认证的基础上，下游客户往往还会根据自身的质量管理要求，再对供应商进行2到3年的合格供应商全方面认证，内容涵盖产品质量、供货周期、批量生产、企业管理、生产环境等。只有通过认证后，才能成为其合格供应商。

“虽然高纯溅射靶材行业认证周期长，认证程序复杂，但一旦通过他们的供应商资格认证，则双方会保持长期稳定的合作关系，双方的供销关系轻易不会发生变化。”王学泽表示。目前，江丰电子等国内半导体材料企业通过消化吸收再创新，已经掌握了高纯溅射靶材生产的关键技术，并积累了较为丰富的产业经验，拥有了一定的市场知名度，获得了全球知名客户的认可。王学泽告诉记者，以江丰电子为例，他们在集成电路靶材领域，除满足中芯国际、华虹宏力等产能扩展计划，实现国内市场销售增长外，还积极开拓国际市场，力争与国际知名集成电路企业形成战略合作关系，成为集成电路靶材的全球主要供应商。在平板显示用靶材领域，江丰电子在满足主要客户京东方、华星光电等所需的铝靶材的基础上，还将供货品种延伸至铜靶材、钼靶材等，成为中国大陆平板显示靶材的主要供应商。

在采访即将结束时，王学泽向记者描绘了江丰电子的未来发展蓝图，他说，今后几年，他们将追踪国际先进集成电路技术，实现高纯溅射靶材在14-3nm技术节点的规模应用;拓展大尺寸超高纯靶材制造技术的应用，实现产品在平板显示、触摸屏及可穿戴电子设备、光伏产业等领域的规模销售;垂直整合产业链，大力发展高纯金属材料提纯与制备，增加产品利润空间，开发关键PVD、CVD、CMP机台零部件加工技术，提高核心竞争力，增强公司持续盈利能力。