上海新阳：ASML-1400光刻机已进入合作方场地，用于先进光刻胶验证

文｜Lee

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集微网消息，3月8日，上海新阳发布关于ASML-1400光刻机进展的公告称，现经各方积极协商、运作，该光刻机设备于今日已进入合作方北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司场地，后续将进行安装调试等相关工作。

据披露，上海新阳自立项开发193nmArF干法光刻胶的研发及产业化项目以来，安排购买了ASML-1400光刻机等核心设备，并于2020年12月14日在《关于公司申请向特定对象发行股票的审核问询函的回复》中披露，该光刻机将于2020年底前运抵国内。后由于公司与光刻机供应商、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司（以下简称“合作方”）沟通协调设备运输与安装等细节，致使设备没能在规定时间内运达，但与合作方就具体合作细节签署了《合作框架协议》，并发布了《关于ASML-1400光刻机进展暨签订的公告》，预计该光刻机将于2021年3月底前进入合作方现场。

北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司与上海新阳将合作在北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司指定工厂搭建光刻胶验证平台，该平台由ArF光刻机（上海新阳负责提供）和涂胶显影机（北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司负责提供）组成，用于先进光刻胶验证。

上海新阳表示，公司采购的ASML干法光刻机设备顺利交付，对加快193nmArF干法光刻胶产品开发进度有积极影响，有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力，加快落实公司发展战略，提高公司抗风险能力和可持续发展能力。

值得注意的是，该光刻机尚须经过装机、调试等相关环节，若相关环节出现工作疏漏或失误则存在造成所购买的光刻机投入使用的过程较长甚至无法投入使用的风险。

此外，光刻胶研发项目技术壁垒高、周期长、至产业化并最终实现销售利润仍需一定时间，而公司购买的光刻机设备价格昂贵，其折旧及后续维护费用预计对公司的经营业绩存在一定影响。