台积、三星积极导入EUV！半导体设备巨擘ASML跃2周高

欧系外资直指，台积电 (2330)、三星电子(Samsung Electronics Co.)对先进制程竞赛白热化，对欧洲半导体设备业龙头艾司摩尔(ASML Holding NV)来说，将相当有利。

barron`s.com 9日报导( 见此 )，欧系外资9日发表研究报告指出，最近有谣言暗示，台积电可能推延了极紫外光(EUV)微影设备订单的交期，但根据实地调查，EUV的需求展望非但并未减弱、反之还有增温迹象，估计ASML明(2019)年的EUV产能，应能如期被抢订一空。

报告直指，台积电已在4月2日向ASML和日本半导体设备厂Lasertec下达了近10亿美元的订单，显示第一季订购的设备数量应有6-8台。三星则是对EUV态度最积极的厂商，据调查，三星或许会将至少一部份的1y nm DRAM (~1 layer)产能导入EUV，量产DRAM的时间点，甚至会比7 奈米晶圆代工/逻辑晶片还要早，因为三星打算先用风险较低的DRAM试产，以便在未来大量替7奈米制程导入EUV。

相较之下，台积电则可能加快5奈米的研发进度，确保对三星的竞争优势。报告预测，台积电的7nm+制程会在2019年初投产，5nm制程技术则准备在2020年量产。为了达到产能目标，台积电必须在2019年开始安装设备，而该公司最近的设备订单，应该就是在为5nm制程作准备。

ASML 9日终场上涨2%、收198.53美元；盘中一度跳涨至202.57美元，创3月27日以来盘中高。

三星位于南韩华城市(Hwaseong)的晶圆新厂已于2月23日正式动土，预定明(2019)年下半年开始量产7奈米以下制程的晶片，未来可望在智慧装置、机器人的客制化晶片取得不错进展。

Pulse by Maeil Business News Korea 2月20日报导，三星计画投入6兆韩圜(相当于56亿美元)升级晶圆产能。位于华城市的晶圆新厂将安装超过10台极紫外光(EUV)微影设备，由于每台EUV设备要价皆多达1,500亿韩圜，因此光是采购机台的费用，就将达到3 -4兆韩圜。

相较之下，台积电采用5奈米先进制程的12吋晶圆厂今年1月26日正式动土，预计第一期厂房明年第一季就可完工装机、2020年年初进入量产。台积电公告指出，待2022年第一、二、三期厂房皆进入量产时，年产能预估可超过100万片十二吋晶圆。