ASML、中芯国际双双“表态”：EUV光刻机出货正常

去年4月，中芯国际向荷兰ASML公司订购了一台EUV光刻机，用于研究7nm及以下的先进工艺。花费超过1.2亿欧元（约10亿人民币），预计今年底交货，2020年正式安装。来自日经新闻消息称，因为受到美国政府关切，ASML将延后对中国晶圆代工企业中芯国际出货。

对此ASML与中芯国际均对此表示否定。

11月7日下午，ASML向《科创板日报》独家回应称，对于日经新闻报道的关于交货时程仅为其媒体推测，ASML从未评论或确认，对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述，表示抗议。

ASML相关负责人强调：“实际上在我们第三季度财报中，就已经将相关情况进行说明，根据瓦圣纳协议（Wassenaar Arrangement），ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可（export license）。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准。因此，关于“ASML决定延迟/终止出货”的说法是错误的，ASML系遵循法规行事，并一视同仁地服务我们全球客户。”

对于何时能拿到许可证，ASML相关负责人表示，目前处于正常的流程状态中，尚未掌握确切的时间。

中芯国际也进行回应：“极紫外光（EUV）还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常，客户与设备导入正常运作。”

ASML是全球EUV光刻机的唯一供应商，并且是全球市值最高的芯片设备制造商。ASML年收入约在 83 亿欧元 (约 92 亿美元) 左右。其中16%来自英特尔和美光等美国公司，19%来自中国。据了解，台积电、三星已于2019年导入量产最先端产品的EUV设备，且苹果预计2020年下半开卖的新型iPhone预估就会搭载采用该技术的CPU。

中芯国际是我国最大的半导体制造公司，今年14nm制程已经实现量产，追平台联电14nm制程工艺，如果未能准时拿到最先进光刻机设备，或影响赶超台积电的日程表。

目前台积电台积电将包揽ASML今年的30台EUV光刻机中的18台，不过量产的7nm制程仍是基于DUV(深紫外）工艺，今年3月份才启动7nm EUV的量产。而三星在去年就小规模投产了7nm EUV。