北方华创旗下三大类设备已进入14纳米工艺验证阶段

笔者从5月23日在北京举行的02重大专项成果发布会上了解到，作为02专项的重点承担单位，北方华创通过近九年的科技攻关，完成了刻蚀机、磁控溅射、氧化炉、低压化学气相沉积、清洗机、原子层沉积等集成电路设备90/55/40/28纳米工艺验证，实现产业化。

据悉，公司的刻蚀机等三大类集成电路设备进入14纳米工艺验证阶段，首次实现与国外设备同步验证。在02专项支持下，12英寸集成电路设备实现从无到有，批量销售，成为公司的主要收入来源之一。并通过02专项成果扩展应用，公司成为LED、光伏等泛半导体设备国际主流供应商，近几年的销售收入平均增速达到40%。

北方华创是承担02专项装备项目最多的单位，同时也是零部件的最大用户。因此，公司与上下游交流的机会很多，不但增进了相互信任，也带来了商机。

中芯国际作为北方华创的验证单位，承担了公司大部分专项的验证工作，双方建立了紧密的合作关系。中芯国际在开发28纳米工艺初期，根据自身工艺的特点，需要一种单片快速退火设备，国外还没有完全符合要求的成熟产品，基于双方的了解，主动提出由北方华创来开发此设备。双方进行了深入的交流，在不到一年的时间里，成功完成设备开发及工艺验证，相关指标达到国际先进水平，成为中芯国际28纳米生产线基线配置产品，实现批量销售。

此外，通过与本土零部件企业合作，大幅提升了设备的性价比，在LED、光伏等领域全面替代进口产品，不仅增加了客户效益，更为公司带来数十亿的销售收入，成为海内外主流产品，刻蚀机、溅射设备、扩散设备多种产品市场占有率第一，批量出口美国、印度和台湾地区。