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来源:半导体圈子发布时间:2021-05-12764浏览
询问 AI最近,厦门网报道,瀚天天成二期项目正紧锣密鼓地建设中,以满足不断扩张的产能需要。
瀚天天成一期产能为6万片/年,2020年备案信息显示,二期项目总投资额为13.4亿元,计划购置一批碳化硅外延炉(主体)及相关配套的系列设备等,建设10条6英寸碳化硅外延片生产线。
二期项目还将完成高品质6英寸碳化硅外延片的研发,实现外延表面致命缺陷密度<0.5cm-2、外延片内掺杂浓度均匀性<5%、表面大于0.3μm的颗粒≤50个,同时还将建设2个生产服务设施用房及3个通用厂房以及一些土建项目。
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