高精度、超低量程的压力传感器概述

什么是压力传感器?它有什么作用?SMI(Silicon Microstructures, Inc.)，elmos的子公司，近日宣布推出SM923X系列超低压力传感器。SM923X系列压力范围最低可至250Pa(1 inH2O)。这款具有完全温度补偿和压力校准的传感器使其在工业、HVAC和医疗应用中实现精确的压力测量。SMI专有的MEMS压力传感器技术与最先进的信号调理IC集成在一个封装中，实现了业界领先的输出精度(1%FS)和长期稳定性。

SM923X系列的开发满足了工业、HVAC和医疗应用等领域的对可靠性的苛刻要求。SMI的紧凑型解决方案替代了传统笨重、昂贵的设备，SM923X系列产品方案大大提升了系统的效率，检测精度以及可靠性。该方案的产品在电路板安装和系统级自动调零后，可以实现在整个补偿温度范围内的测量精度小于1%满量程。 其16位分辨率能够解析低至0.0038Pa的压力信号。此外，其卓越的预热性能和长期稳定性，进一步确保了器件在使用寿命周期内实现预期性能。

易于系统集成

SM923X传感器经过完全校准，用户使用方法非常简单。数字I2C接口可轻松实现系统集成。深度睡眠模式可实现如HVAC无线传感器技术等的新的应用领域。SMI的这个解决方案集成了高阶噪声滤波，提供了低噪声和极低的EMI敏感度。该芯片采用具有双垂直端口的小型SO16封装，易于实现系统集成和检测压力，该MEMS传感器在极高压力情况下仍能保持稳定性。该系列传感器安装方向灵活，并且可抵抗各个方向的震动，因此进一步降低了产品的安装和布局。

该系列传感器的分为三个型号，应用于压力开关、VAV和呼吸设备。压力传感器提供三种配置：SM9233(0至+250 Pa/0至1 inH2O)，SM9235(0至+300 Pa/0至1.2 inH2O)和SM9236(0至+600 Pa/0至2.4 inH2O)。这些器件可申请样品并批量供货。SM923X系列芯片可在压力开关和气动阀等工业控制系统中实现精确的压力检测，比如泄漏检测。 另一个应用是测量真空泵中的气体压力。在HVAC设备中的压力传感器用于过监控滤波以及VAV控制。借助于SMI的解决方案，可以更智能地分配空气，从而实现节能。

在医疗应用中，超低压力传感器用于诸如呼吸装置中通风压力和吸气压力的检测。得益于传感器灵活的安装方向的，高分辨率和低噪音性能，因此降低了呼吸设备的集成和使用要求。SM923X系列补充了SMI超低压力传感器系列解决方案。有关SM923X和SM9000系列其他产品的更多信息，请访问产品页面，包括差分超低压传感器SM933X。

“数十年低压传感器方面的经验都体现在SM9000系列中。SM923X系列完善了SMI在低压方面的解决方案，使我们处于市场的最前沿，提供最低的压力测量范围，并具有最高的精度”，SMI的研发和业务开发副总裁Mike Klitzke说。“我们很高兴看到客户是如何通过使用我们的传感器来提升系统级效率。”以上就是压力传感器的技术概况，希望能给大家帮助。