告别卡脖子，我国首套高精度圆度基准装置建成

据央视新闻报道，我国现已正式建成首套高精度圆度基准装置。该设备的落地填补了国内在圆度量值溯源体系方面的空白，标志着相关测量技术迈入国际先进行列。

在几何量形位公差体系内，圆度属于核心基础参数。其测量精度对半导体芯片、先进光学元件以及精密主轴等高端制造产品的装配质量与性能有着直接影响。此前，国内虽已确立平面度等计量基准，但圆度量值始终缺少国家级溯源源头，这成为限制高端装备自主化发展的技术瓶颈。

新建成的高精度圆度基准装置融合了多项自主研发技术，攻克了滤波一致性控制、主轴误差分离以及高准确度圆度评定等国际性难题。通过创新引入基于全效数据利用与高准确度圆度滤波的计算模型，该装置有效克服了标准半球分离后的轮廓重构稳定性问题。此外，新型误差分离技术的应用大幅降低了主轴回转误差，使圆度测量的不确定度由20纳米缩减至6纳米。

目前，我国已掌握高准确度圆度测量的多项核心技术，打破了国外的长期垄断。这套装置未来将为半导体制造、先进光学、高端机床及航空航天等战略性产业提供高精度的量值溯源支持。