随着全球半导体技术进入2纳米以下时代,晶圆厂对洁净室环境的要求不断提高,气态分子污染物(AMC)解决方案的需求也随之激增。滤能、钰祥以及瑞典的康法(Camfil)等企业,在台积电扩产和先进制程快速推进的带动下,近年来罕见地出现供应紧张,甚至酝酿新一轮涨价潮。
先进制程的线宽越来越窄,AMC对制程良率的影响也持续增加。据调研机构IC Insight估计,以7纳米制程为例,每片12英寸晶圆若不良率提高1%,将造成约93美元的损失。而对于ASP高达2万至3万美元的3纳米和2纳米制程,影响更为显著。
据了解,AMC气体分子直径约为0.3~1.5纳米,在5纳米制程下,大约只需5~17个气体分子即可占满线宽,导致不良率上升。目前,25纳米以上的制程多采用平面结构,而7纳米和5纳米制程则使用FinFET立体架构。在3纳米和2纳米以下制程中,厂商已转向GAA架构,对AMC微污染的敏感度进一步提升。
晶圆代工厂在多个领域大量使用滤网,使得钰祥、滤能及康法等企业在半导体供应链中的地位不断提升。AMC滤网已从过去的耗材角色,升级为影响晶圆厂扩产与工程交期的重要组件。这些企业近年来均获得半导体产业集团的投资,以避免因滤网短缺影响接单与生产。
钰祥成立于1987年,从代理外国滤网产品起步,逐步转型为自主研发与制造,并在台南善化、柳营设有工厂。其产品稳定进入台积电和美光供应链,尤其在5纳米以下先进制程中占据重要市场份额。滤能则成立于2014年,创始人黄铭文曾是台积电AMC微污染防治计划的主持人。尽管2025年因资产与财务调整出现亏损,但其新技术开发进展顺利,包括表面反应单元模块(SPR)和再生AMC滤网,目前已在客户端测试。
圣晖集团投资入股滤能,持有约15%股权,成为大股东,但并未进入董事会,给予滤能较大的自主空间。此举旨在确保滤网供应稳定,以应对台积电加速扩产带来的需求激增。
半导体业者指出,AMC滤网市场长期被视为竞争激烈的“红海”,但随着晶圆厂持续扩建,尤其是台积电的新厂建设计划超出预期,高端化学滤网的产能显得尤为有限。滤网价格已开始调整,2027年将确定上调,涨幅将根据产品等级而定。
此外,滤网需求不仅来自晶圆厂,还包括封测厂、电子生产线、数据中心以及大型空调机电系统。因此,厂务工程企业必须确保供应链稳定,以避免因滤网短缺导致工程交付延误。