三星泰勒厂将导入EUV光罩护膜，设备订单已下

据韩媒ET News和亚洲经济报道，三星电子计划在美国德州泰勒厂导入极紫外光（EUV）光罩护膜，并与韩国设备供应商FST签订相关设备合约。据悉，FST已接获约240亿韩元（约合1,634万美元）的订单，供应对象为三星泰勒厂。

此次订单涵盖三种设备，包括光罩护膜自动拆装设备EPMD、光罩护膜膜片与框架异物检测设备EPIS，以及运输容器检测设备EPODIS。这些设备专为三星与FST共同开发的次世代材料纳米碳管（CNT）EUV光罩护膜设计，同时也兼容现有的金属矽化物（MeSi）EUV光罩护膜。

业界分析，此次设备投资的落地表明EUV光罩护膜的关键性能指标“耐久性”与“透光率”已达到令人满意的水准，量产应用指日可待。相关人士透露，设备将先应用于系统半导体制程，未来逐步扩展至存储器制程。

三星目前拥有超过70台EUV设备，仅次于台积电，排名全球第二。EUV光罩护膜单价超过6,000万韩元，若全面导入韩国国产EUV光罩护膜，预计将对设备与零组件产业带来显著推动效应。

台积电自2019年起逐步导入日本三井化学的金属矽化物EUV光罩护膜，并应用于先进制程。而三星则于2020年和2021年分别投资韩国企业S&S Tech与FST，推动EUV光罩护膜的国产化进程。