二氯硅烷（简称DCS）是一种无色、带有强烈刺激性气味的液化压缩气体，具有极高的化学活性。它在常温下易燃且具备自燃性，与空气混合后极易引发爆炸。此外，DCS遇水会迅速水解并释放大量氯化氢酸雾，因此对存储和输送设备的材质要求极为严格。
在半导体制造领域，DCS的纯度通常需达到99.9999%以上，以确保微量金属杂质不会影响晶圆的电性能。DCS主要作为硅源前驱体，广泛应用于化学气相沉积（CVD）和外延技术。相比三氯硅烷（TCS），DCS的反应温度更低，在先进制程中能够显著减少热预算对晶圆结构的破坏，因而备受青睐。它被用于生长氮化硅、二氧化硅以及多晶硅薄膜，是晶体管栅极隔离与侧墙结构的关键材料，同时在3D NAND闪存的多层堆叠中也发挥着重要作用。
据相关报道，全球半导体级DCS市场主要由国际特种气体巨头垄断，包括日本的信越化学、法国Air Liquide和德国默克等。近年来，随着本土化供应需求的增加，国内企业如三孚股份也开始崭露头角。
值得注意的是，2026年初商务部对日本产DCS发起的反倾销调查，正推动各大晶圆代工厂加速供应链多元化布局，以降低潜在的关税和断料风险。
