中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）近日发布了2025年第三季度报告。报告显示，公司前三季度实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40%；归母净利润为12.11亿元，同比增长32.66%。其中，第三季度营收达31.02亿元，同比增长50.62%；归母净利润为5.05亿元，同比增长27.50%。
中微公司是一家专注于微观加工高端设备的企业，为集成电路和泛半导体行业提供领先的设备及服务。公司总部位于上海浦东新区，业务聚焦亚洲并辐射全球。财报显示，前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26%；LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长1332.69%。
据中微公司透露，其高端刻蚀设备在先进逻辑和存储器件制造中的新增付运量显著提升，部分工艺已实现大规模量产。此外，公司开发的LPCVD、ALD等薄膜设备性能达到国际领先水平，市场覆盖率持续增加。其硅和锗硅外延EPI设备已进入客户端量产验证阶段，并获得高度认可。
在泛半导体设备领域，中微公司正积极开发更多化合物半导体外延设备，并已陆续交付客户进行生产验证。今年10月，中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目正式开工，总投资额约30.5亿元。
