国产12寸IC前段工艺设备成功交付头部客户

10月21日，国产半导体设备厂商稷以科技宣布，其自主研发的12寸IC前段工艺表面氧化/氮化设备JETKepler正式交付行业头部客户，标志着国产半导体设备在300mm IC领域取得重要突破。

据稷以科技介绍，JETKepler设备主要应用于晶圆刻蚀及高温等离子表面氧化、氮化处理。该设备能够实现各向同性表面处理，包括氧化、氮化、还原、薄膜密度提升、刻蚀残留物清除及降低IC电阻等。其核心优势在于高密度低损伤等离子系统、优异的温度均匀性、更高的生产效率以及更低的运营成本，为行业提供了大尺寸表面处理的高效解决方案。

稷以科技表示，此次交付只是一个全新起点。未来，公司将继续加大技术研发投入，优化产品性能，深化技术创新与产业链布局，助力中国半导体产业攻克前沿技术难题，为行业发展提供坚实支撑。