9月19日，中微半导体设备（上海）股份有限公司在广州增城经济技术开发区举行了华南总部研发及生产基地项目的开工仪式。
中微公司自2004年成立以来，专注于等离子体刻蚀、化学薄膜、量检测等高端关键设备的研发与制造。过去14年间，公司营业收入年均增长率超过35%。据2025年上半年数据显示，公司营业收入同比增长43.9%，达到49.61亿元，研发投入占比高达30.07%，远超行业平均水平。
此次开工的一期项目占地约50亩，总体规划占地约130亩，预计2026年年底建成，2027年正式投产。基地建成后，将主要聚焦大平板显示设备的研发与生产，并逐步拓展至智能玻璃、板级封装等新兴领域。这将为中微公司提升研发及生产能力提供坚实保障。
中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示，公司计划在未来五到十年内，通过内生增长与外延扩展，覆盖半导体高端设备市场的50%到60%，发展为平台型集团公司。广州项目的启动是公司“三维发展”战略的重要实践，将进一步推动其多元化布局与高质量发展。
