国产首台28纳米电子束量测设备在无锡成功出机

据《无锡日报》报道，国产首台28纳米关键尺寸电子束量测设备在无锡成功出机。这台设备由无锡亘芯悦科技有限公司自主研发，涵盖了电子光学系统、运动平台、电子电路和软件等核心技术，实现了完全自主可控。电子束晶圆量检测设备在芯片制造领域技术难度极高，其重要性仅次于光刻机。

当天，亘芯悦科技与上海交通大学自动化与感知学院合作共建的电子光学AI平台联合实验室正式揭牌。双方将在技术创新、产业应用及科技人才培养等方面展开全面合作，推动“理论突破—工艺验证—产线落地”全链条贯通，为后续设备研发提供新动力。

活动期间，市领导与嘉宾参观了亘芯悦电子束量检测设备生产线，深入了解企业技术路径、核心设备及团队建设等情况。作为全国第二个集成电路产业产值突破千亿元的城市，无锡近年来通过出台36条高质量发展措施、设立50亿元专项基金等举措，持续推动产业发展。去年，全市集成电路规上企业实现产值2512亿元，同比增长9.3%；今年上半年，产值达1315亿元，同比增长14.2%。无锡已成为我国集成电路产业的重要基地。