华海清科子公司首台低温离子注入机出机

7月14日，华海清科股份有限公司旗下的全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司成功研发并出货其首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT。该设备已顺利发往国内逻辑芯片制造领域的龙头企业。

据公开资料显示，华海清科已实现面向先进制程芯片制造的大束流离子注入机全系列覆盖。作为集成电路制造前道工艺中的核心设备，离子注入机技术门槛极高，长期以来，国内企业主要依赖进口设备，国产替代市场需求巨大。

目前，华海清科不仅推出了大束流离子注入机系列产品，还积极布局中束流及高能离子注入机等其他系列设备，进一步完善其产品线布局。