三星电子子公司Semes清洗技术被认定为韩国国家核心技术

据韩媒韩国经济、ZDNet Korea等报道，三星电子旗下半导体设备子公司Semes自主研发的半导体清洗制程技术，近日被韩国政府认定为“国家核心技术”。这一认定由韩国产业通商资源部（MOTIE）主管的产业技术保护协会审查通过。

“国家核心技术”是指具有高度技术性和经济价值，一旦外流可能对国家安全造成重大损害的产业技术。自2007年起，韩国引入这一制度，旨在加强对关键技术的保护，防止技术在国内外泄露。

Semes的清洗制程技术广泛应用于30纳米以下等级的DRAM、晶圆代工制程以及64层以上堆叠的3D NAND Flash领域，涵盖设计、制程、元件和3D堆叠形成等关键技术环节。通过此次认定，Semes不仅巩固了其技术领先地位，还将根据政府政策对技术外泄行为采取更严格的法律制裁。

为确保核心技术的安全，Semes正强化与合作企业的技术保护规范，限制技术数据的访问权限，并加强安全检查与基础设施建设。公司代表理事沈相弼（音译）表示，随着产业技术保护的重要性不断提升，未来Semes将持续申请国家尖端战略技术资格，争取政府支持，进一步巩固其全球技术领先地位。

值得一提的是，Semes曾在2022年开发出半导体超临界干燥制程技术，同样被指定为韩国国家核心技术。