据深圳特区报报道，深圳市纳设智能装备股份有限公司（简称“纳设智能”）在碳化硅装备技术领域取得重要突破，其自主研发的设备已实现全面产业化。
碳化硅因其优异性能，在新能源汽车、智能电网等下游领域具有广阔应用前景。然而，碳化硅材料生产核心环节的外延设备长期依赖进口，高温沉积均匀性与设备稳定性等关键技术受制于人，国产化进程面临诸多挑战。
为突破这一瓶颈，纳设智能创始人陈炳安带领团队自主研发了多区进气系统，该系统可独立控制，显著提升了设备工艺的均匀性。同时，通过与深圳先进院联合成立实验室，团队成功将碳化硅外延设备工艺良率提升至98%。针对进口设备耗材成本高、维护复杂的问题，纳设智能创新设计反应腔室，不仅使耗材成本降低30%，还大幅简化了维护流程。
经过数年努力，陈炳安团队攻克多项技术难关，成功研发出5款化学气相沉积设备，填补了国内先进材料产业链上游关键设备的空白。目前，纳设智能正全力推进光伏钙钛矿领域的大尺寸设备研发，预计年内实现相关产品上市。
