蔚华科技（3055）近日发布了一项名为「蔚华雷射断层扫描（SpiroxLTS）」的创新技术，该技术通过多项专利非线性光学组合技术，实现了对TGV（Through Glass Via）玻璃内部雷射改质断层图的非破坏性、零接触、零损伤检测。这项技术能够精准解析雷射改质效果，为TGV制程参数控制提供了革命性解决方案，助力相关企业加速量产进程。
据多家TGV封装基板金属化与增层制程的主力厂商反馈，TGV金属化及后段增层对孔径结构与改质品质要求极高，以往因信息获取困难，常导致后段制程面临挑战。而SpiroxLTS的非破坏性检测功能，可在材料与制程验证阶段引入品质筛选机制，对实现高阶封装TGV基板的稳定量产具有重要意义。
蔚华科技总经理杨燿州表示，该技术成功解决了TGV改质效果难以观察的问题，并获得了海纳光电、晶呈科技、欣兴等企业的高度认可。除了雷射改质检测，SpiroxLTS还能精准检测TGV蚀刻孔腰身位置、孔壁粗糙度以及镀铜孔壁玻璃裂纹，为行业提供了亟需的检测方案。
目前，SpiroxLTS已率先应用于Glass Core与Interposer等高频高速封装领域，支持材料评估、制程导入及量产监控，有望成为推动TGV工艺量产的重要力量。市场普遍看好该技术的推出将为蔚华科技带来新的增长点。
