近日，据天眼查App显示，上海精测半导体技术有限公司发生工商变更，新增国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司、上海精璇管理咨询合伙企业（有限合伙）以及上海精昕管理咨询合伙企业（有限合伙）为股东。同时，公司注册资本由约13.7亿人民币增至约20.7亿人民币。
上海精测成立于2018年7月，专注于半导体前道制程量检测设备的研发及产业化。公司已构建电子束/离子束成像、光谱分析量测、光学干涉测量等核心技术平台，推出薄膜厚度量测、关键尺寸量测、有图形晶圆检测等设备，为晶圆厂提供制程优化与良率提升解决方案。作为创业板上市公司精测电子的控股子公司，上海精测已获得国家集成电路产业投资基金一期和二期的联合注资，合计持股比例超过9.6%，显示出其在国内半导体设备产业链中的重要战略地位。
股权信息显示，上海精测的控股股东为国内半导体检测设备龙头企业精测电子，持股比例达56.42%，实际控制人彭骞同时担任两家公司董事长。此外，国家大基金一期和二期各持股4.82%，上海青浦投资、上海半导体装备材料基金等国有资本亦分别持股4.82%，形成“产业龙头+国家队+地方资本”的多元化股东结构。
行业分析人士指出，大基金的注资不仅为上海精测提供了资金支持，还助力其对接上下游资源，加速产品在晶圆厂的验证与导入。据公开资料显示，上海精测早在2019年完成A轮融资，引入青浦投资、上海半导体装备材料基金及蓝湖资本；2020年A+轮融资中再获同鑫资本跟投。这些持续的资本加持反映了市场对其技术路线及国产化前景的高度认可。
集邦咨询数据显示，2023年中国大陆半导体检测设备市场规模已突破30亿美元，但前道量测设备的国产化率仍不足10%。随着国内晶圆厂扩产潮持续，半导体设备自主可控需求愈发迫切。凭借多元化的股东背景与技术积累，上海精测有望在这一蓝海市场中占据先机。
