沈阳浑南芯源微项目开工

据报道，3 月 2 日，沈阳市浑南区春季重点项目开复工动员大会暨芯源微高端晶圆处理设备产业化创新路项目开工仪式在芯源微创新路地块隆重举行。沈阳市委副书记、市长吕志成亲临现场，浑南区委书记闫占峰、区长任立辉，以及股东嘉宾、合作单位代表、公司领导与员工代表齐聚一堂，共同见证芯源微迈向高速发展的全新起点。

作为本次活动主会场的芯源微高端晶圆处理设备产业化创新路项目，总投资高达 10 亿元。该项目聚焦于前后道涂胶显影设备的研发与生产，一旦建成，将有力提升国产光刻工序涂胶显影设备的市场占有率，彻底打破国外产品在市场与技术上的双重垄断。其开工建设，更是沈阳朝着打造全国集成电路装备及零部件重点产业基地目标迈进的关键一步。