国内首条！6英寸氧化镓单晶及外延片生长线在杭州开工

杭州富加镓业科技有限公司近日在杭州富阳开工建设国内首条6英寸氧化镓单晶及外延片生长线，标志着我国在氧化镓单晶生长技术方面与国际同步，并有望在量产技术方面实现突破。氧化镓作为一种新型超宽禁带半导体材料，具有制备成本低、单晶质量高、缺陷少等优势，是国际竞争中的关键材料。

与碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料相比，氧化镓的热处理温度和硬度与单晶硅相近，使得从单晶硅器件线向氧化镓器件线转换的成本和难度大大降低。目前，杭州富加镓业已实现6英寸导电型及绝缘型氧化镓单晶衬底的制备，并在单晶外延技术方面取得重要进展。

该生长线集成了单晶生长、衬底加工、外延及检测等关键环节，配备了先进的单晶生长设备、高精度研磨抛光设备、全自动化晶片清洗设备等。这一生产线的建设将为下游器件厂商提供稳定可控的高质量氧化镓材料，推动氧化镓产业链的快速发展。

据了解，国际上仅有日本NCT公司有6英寸氧化镓量产计划，而杭州富加镓业是国内唯一一家同时具备6英寸单晶生长及外延能力的公司。随着该生产线的建成，预计将为我国在氧化镓材料领域的产业化进程提供有力支撑。