ASML：EUV光刻机可远程遥控关闭

近日，全球领先的半导体设备制造商ASML宣布，其具备远程关闭旗下光刻机的能力，包括最尖端的极紫外光刻机（EUV）。这一消息迅速引发了业界和网友的广泛关注。

据了解，ASML的EUV光刻机需要频繁维护，若缺乏该公司提供的备件，这些设备将很快失去运作能力。此外，EUV光刻机的维护要求极高，需在无尘室内进行，工程师还需穿着特殊服装以防止污染。

值得注意的是，ASML为部分客户提供联合服务合同，允许其进行日常维护工作，但客户无法访问设备内的专有数据。这一安排旨在确保设备稳定运行，同时保护ASML的技术知识产权。

业内人士分析，ASML的远程关闭功能类似于设备内置的“终止开关”，有助于确保设备在特定情况下得到及时控制。考虑到EUV光刻机每台售价超过2亿欧元，这一功能对保障设备安全和稳定具有重要意义。同时，这也体现了ASML对技术保护的重视，以防止设备被非法使用或窃取。