imec携手台积电等众多半导体大厂推出免费版虚拟晶圆厂模拟平台

11月16日消息，比利时微电子研究中心（imec）宣布推出免费使用版虚拟晶圆厂模拟平台“imec.netzero”，该工具提供了一种量化芯片制造业环境影响的视角，提供学界、政策制定者及设计人员具有价值的洞见。通过此次发布的免费版网页应用，imec旨在跨出半导体供应链，协助产业降低其所带来的环境影响。

Imec表示，半导体制造是一套复杂的流程，伴随多种环境影响，从消耗大量能源、使用希有材料到排放温室气体。业界考察到这块市场的成长，以及巴黎协定为气候变迁订定的目标，正在努力优化制程步骤。然而，测定并减缓具备较大环境影响的制程或技术需要大量的数据。这正是imec可持续半导体技术与系统（Sustainable Semiconductor Technologies and Systems；SSTS）研究计划正在处理的问题。该计划是一项关乎整个半导体生态系统的合作框架。除了从电子产品的终端使用者、晶圆厂、代工晶圆厂到材料及设备制造商，也携手学界及政府单位。

为了正确量化芯片制造所带来的环境影响，imec开发了一款取名imec.netzero模拟平台的虚拟晶圆厂。该网页应用运用从自家晶圆厂取得的数据，藉由这些数据与从设备、材料及晶圆厂合作伙伴那边取得的数据不断地进行基准测试，包含像是亚东工业气体（Air Liquide）、应用材料（Applied Materials）、ASM、阿斯麦（ASML）、Edwards、日本KURITA、泛林集团（Lam Research）、日本SCREEN、东京电子（Tokyo Electron）、格芯（GlobalFoundries）、三星电子（Samsung Electronics）和台积电（TSMC）。这款虚拟晶圆厂采用生命周期评价（Life-Cycle Assessment）的研究方法，搜集并分析芯片制程在每个步骤所用的能源、材料、化学品、气体及其它资源。合作伙伴可以取得imec.netzero模拟平台的专用版软件应用，它能详细地量化分析当前及未来芯片技术所带来的隐含排放和其它环境影响，导出实际行动。

imec计划趁现在触及更多的使用者，公开版imec.netzero模拟平台提供与专用版相同的晶圆厂模型和制程数据库。虽然这款网页应用的功能有限，例如仅适用于现行技术及温室气体盘查议定书（GHG Protocol）的范畴一（Scope 1）和范畴二（Scope 2），但它能提供独到的数据见解，否则大众无从获得这些信息。举例来说，该应用可以根据不同的制造地点，可视化呈现多项（28nm以下）逻辑及內存技术的气候变迁（二氧化碳排放）、用电量或总用水量。

Imec研究计划组长Cédric Rolin解释，我们的目标是跨出半导体供应链和我们的永续半导体技术与系统（SSTS）研究计划，提供有关芯片制造业环境影响的高品质透明数据。我们开发的工具超越了目前现有的研究，提供价值给那些探索产业影响力数据（industry impact data）的产品设计员、环境研究员和政策制定者。