中国ASML机台装机量已接近1400台！美国新规影响有多大？

2023年11月5日-10日，第六届中国国际进口博览会（以下简称“进博会”）将在上海全面线下举办。光刻设备领先供应商阿斯麦（ASML）今年也将第五次参加进博会，公司将以“光刻未来，携手同行”为主题，亮相国家会展中心技术装备展区集成电路专区，并首次以互动视频的形式带领观众深度了解ASML包括光刻机台、计算光刻以及光学和电子束量测在内的全景光刻解决方案如何相互协作、支持客户。

在正式参会前夕，ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波就本届参展计划、在华业务发展情况及未来规划等热点话题和外界展开交流。

△ASML全球副总裁、中国区总裁沈波

“今年，我们深圳和武汉的研发团队开发并发布了一款贴合中国客户需求的新版本计算光刻产品，能够实现行业领先的良率。在此背景下，我们也希望通过进博会这样的平台持续让外界对ASML有更客观、全面的认识，ASML始终积极响应中国集成电路行业的发展需求，为客户提供全景光刻解决方案，这其中不仅包括大家熟知的光刻机台，还有计算光刻、以及光学和电子束量测，从而帮助客户经济高效地提升良品率和生产效率。”沈波近日向媒体介绍。

ASML持续扩大在中国的研发投入

据了解，2004年，ASML在深圳建立首个计算光刻开发中心。经过近20年的人才积累，该中心已成为ASML在全亚洲最大的专业软件开发中心。目前，ASML在国内有深圳和武汉两个计算光刻开发中心。

“计算光刻主要应用于芯片的开发与制造环节，实际是通过大量的数学和物理模型的建立来帮助客户在芯片开发和制造时设计出一个模板——用专业的词来说叫‘光罩’（又叫‘掩模版’）；光刻机是把这个光罩上面客户设计的图案投影到晶圆上面，然后晶圆通过光刻胶的显影后续的工序把它呈现出来。”沈波给出相关定义时说。

ASML“铁三角”全景光刻解决方案中的另一环是量测，其是曝光后晶圆成像检查和反馈的环节，帮助进一步优化模型。量测分还为光学和电子束两种，其中，ASML电子束量测在北京设有开发中心，是ASML电子束量测的全球四大开发中心之一，专门从事电子束系统关键组件的开发。

“ASML的服务不光是对故障维修和让设备正常运转，很重要的一个附加值在于ASML团队能够配合客户的工艺做调整、优化，帮助客户实现其工艺要求，从而使客户能够在制造芯片过程中获得更好的良率和生产效率，更顺畅地把工艺窗口做好；这是我们围绕‘成像环节’做的一些事情，其中需要的不仅仅是光刻机，我们的计算光刻软件和量测系统一起构成了紧密协作的三角形。”沈波在交流会上谈到。

ASML在中国的机台装机量接近1400台

根据ASML的财报显示，截止9月30日的前三季度，ASML全球净销售额达203.21亿欧元，而中国区同期收入约合52.67亿欧元，占比25.91%左右。其中，ASML三季度来自中国大陆的销售收入占比由二季度的24%（销售额约为13.45亿欧元），几乎翻倍增长到了46%（销售额约为24.42亿欧元），要知道今年一季度中国大陆的销售收入占比仅8%。这也进一步凸显了中国大陆市场对于ASML光刻系统旺盛的需求，以及ASML对中国大陆市场交付的快速增长。

对于中国大陆市场增长情况，沈波解释称，过去两年，受产能制约等因素影响，ASML对全球客户交付率基本维持50%左右。今年中国大陆市场交付相对较多，主要因为一些产能越大的全球客户对行业波动会越敏感，当行业景气度下滑时，这些客户会选择放缓产能建设和设备采购进度。而中国大陆的客户目前仍处于产能建设阶段，有些客户甚至刚起步，尤其在成熟制程这块需求非常旺盛，所以对行业波动相对不那么敏感。

“即便面对行业波动，中国大陆客户对我们的需求仍是将前两年订的货尽快交付，而其他客户的需求时间节点发生了变化。所以，最后大家看到的结果是中国大陆市场所占的份额相对出现上升。”沈波说道。

沈波还特别指出，“现在网上有各种各样的关于我们的消息，说我们不卖机器到中国，这种很吸引眼球的传闻。然而，实际上我们从1988年首台机器运到中国，到2023年底，ASML在中国的光刻机加上量测的机台装机量接近1400台。所以，实际上我们这些年在中国的成长幅度还是非常可观的。我们一直在不停地投入做这件事情。”

光刻设备供不应求，ASML正努力提升供应能力

对于ASML来说，截止今年三季度，公司仍有超过350亿欧元的未交付订单。如何突破产能瓶颈以应对市场需求增长仍是ASML需要解决的问题。

在三季度财报会议上，ASML CEO Peter Wennink进一步解释称，“1980Di原则上将受出口管制限制，但仅当用于先进半导体制造时，仅适用于少数应用。这意味着1980Di仅对少数晶圆厂禁止出口，但可向绝大多数应用于次关键和成熟制程的中国大陆客户直接出口，无需许可。”

那么，美国的新规对于ASML中国业务具体会有多大影响呢？

“我们只有部分浸润式产品明年会被放到出口管制的范围，并不是所有的。即使有了新的出口管制，我们还有非常大的一块浸润式的业务在中国。”沈波补充称。

在沈波看来，芯片制造需要一千多道工序，每道工序都集中了全球在该领域最好的公司和人才，才能保证把事情做好；在历史发展进程中，半导体也一直是需要全球高度合作的产业，但近年来不光是ASML，整个行业发展都受到了很多地缘政治方面的影响。如何去应对这种变化？沈波表示，“对ASML而言，只要在合法合规的框架下，我们一定会尽最大的努力去支持所有的客户。”