国内十大晶圆厂设备招标结果解析：上海积塔设备国产化率最高！

5月12日消息，据招标平台信息显示，5月10日，上海积塔半导体多项设备中标结果公布。

结果显示，北方华创、拓荆科技、芯源微、阿斯麦（ASML）等成功中标上海积塔特色工艺生产线项目33台设备。

其中，北方华创中标10台设备，包括合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射设备等；拓荆科技中标3台二氧化硅等离子薄膜沉积设备、8台二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积设备；芯源微中标1台聚合物涂胶显影机；阿斯麦（ASML）中标2台i-line光刻机、1台KrF光刻机。

以此计算，北方华创、拓荆科技、芯源微三家合计中标量占比约67%，国产设备比重较大。

那么，从今年1-4月国内主要晶圆厂对于半导体设备采购的中标情况来看，国产半导体设备的占比又有多高呢？

国内十大晶圆厂今年1-4月设备采购累计开标401台

由于半导体设备应用的工艺流程和重要性的不同，我们主要统计光刻、刻蚀、沉积、清洗等涉及核心工艺的关键设备中标情况，并将关键半导体设备区分为制程核心设备（包含光刻、刻蚀、沉积、离子注入设备）、良率提升设备（包括前道检测设备、后道测试设备、清洗设备）以及重要辅助设备（包括炉管设备、CMP 抛光设备、干法去胶设备、涂胶显影设备），并排除二手翻新设备影响。

通过对长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯 10 家中国大陆主要的 IDM 或晶圆代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022 年 4 月国内 10 家主流晶圆厂共开标 108台工艺设备，前四个月合计开标 401 台工艺设备。

2022 年 4 月开标的 108 台设备主要来自上海积塔（78 台）、华虹无锡（20 台）、福建晋华（5 台）、时代电气（3 台）、华力微电子（1 台）、华力集成（1 台），上海积塔及华虹无锡扩产贡献主要增量。

2022 年 1- 4 月开标的 401 台设备主要来自华虹无锡（268 台）、上海积塔（104 台）、时代电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台），华虹无锡及上海积塔贡献主要增量。

1-4月采购设备以炉管、刻蚀、沉积设备为主

晶圆厂设备布局往往以光刻机为核心，围绕以多台刻蚀、薄膜沉积、清洗等设备，由于不同招标批次对应设备采购种类不同，因此不同时期工艺设备招标种类也会有所不同。

2022 年 4 月开标的 108 台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（30 台）、刻蚀设备（29 台）、前道检测设备（10 台）、清洗设备（10 台）、干法去胶设备（9 台）、沉积设备（8 台）、离子注入机（4 台）、涂胶显影设备（4台）、后道测试设备（2 台）、光刻机（1 台）、抛光设备（1 台）。炉管、刻蚀设备贡献 2022 年 4 月主要扩产增量。

2022 年 1-4 月开标的 401 台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（112台）、刻蚀设备（61 台）、沉积设备（61 台）、前道检测设备（48 台）、后道测试设备（35 台）、离子注入机（18 台）、清洗设备（17 台）、抛光设备（15 台）、涂胶显影设备（14 台）、干法去胶设备（14 台）、光刻机（6 台）。总的来看，炉管、刻蚀、沉积设备贡献 2022 年 1-4 月主要扩产增量。

1-4月设备采购中标国产率24.2%

我们以设备中标台数计算国产率（包含拥有翻新业务的厂家），由于不同设备价值量不同，因此与实际市场规模测算的国产率有一定差异。且考虑不同晶圆厂、不同工艺设备的招标批次不同，中国大陆厂家中标频次分布未必平均，造成国产率有一定波动。

从年度数据来看，2021年设备国产率达 27.4%，较 2020 年 16.8%有明显提升。2022 年 4 月主流晶圆厂开标的 108 台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计 67 台，占比达 62%；2022 年 1-4 月开标的 401 台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计 97 台，占比达 24.2%。虽然较2021年有所降低，但这可能是由于国内厂商采购节奏有关，预计全年的设备国产率仍将有望超过2021年。

上海积塔1-4 月设备采购中标国产率达42.3%

2022 年 1-4 月开标的 401 台设备主要来自华虹无锡（268 台）、上海积塔（104 台）、时代电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台）。国产设备中标数较多的晶圆厂为上海积塔（44 台）、华虹无锡（40 台）、时代电气（8 台）、福建晋华（5 台）。其中上海积塔国产率达42.3%%，华虹无锡开标设备中国外设备占比相对较高，国产率约为 14.9%。

回顾2020及2021年度各晶圆厂设备采购中标国产率，上海积塔的设备采购国产化率也是位居第一，分别达到了75.9%和35.4%。如果将上海积塔2020年、2021年、2022年1-4月及截至目前的5月（67%）的设备采购国产化率占比平均来看，其设备采购国产化率仍高达55%以上。

1-4月干法去胶、刻蚀、清洗、离子注入设备采购中标国产率较高

近年来受益于北方华创、中微公司、盛美半导体、芯源微、屹唐半导体、至纯科技、华海清科等中国大陆厂家的不断发展，在刻蚀、沉积、清洗、抛光、干法去胶、炉管、涂胶显影等领域半导体设备中标国产率较高。

2022年1-4月，按照国产设备中标数量从高到低排序，不同工艺设备国内厂家中标情况如下：刻蚀设备（31 台）、炉管设备（22 台）、干法去胶设备（10 台）、清洗设备（7 台）、离子注入机（7 台）、沉积设备（6 台）、后道测试设备（4 台）、前道检测设备（3 台）、涂胶显影设备（3 台）。

其中国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率 71%）、刻蚀设备（50.8%）、清洗设备（41.2%）、离子注入机（38.9%）、抛光设备（26.7%）、涂胶显影设备（21.4%）。

回顾2020及2021年度各类设备采购中标国产率情况，干法去胶（47.4%和45.0%）、CMP抛光（36.4%和41.7%）、清洗（32.0%和34.7%）、刻蚀（32.5%和24.4%）、炉管设备（22.7%和23.9%）的国产率相对较高。

北方华创等国产设备厂商受益

按设国产备厂商中标情况来看，2022 年 4 月份中标较多的中国大陆厂家为北方华创、中微公司、芯源微、屹唐、上海精测、盛美上海等（暂时不分析含有翻新业务的中国大陆厂家）。

北方华创合计中标 33 台：中标上海积塔 33 台设备，其中炉管设备 21台，刻蚀设备 12 台。

中微公司合计中标 13 台：中标华虹无锡 12 台刻蚀设备，中标时代电气1 台刻蚀设备。

屹唐半导体合计中标 10 台：中标华虹无锡 8 台设备，其中 7 台干法去胶机，1 台热退火设备，中标上海积塔 2 台灰化机。

芯源微合计中标 7 台：中标上海积塔 6 台设备，其中刷片机 5 台，涂胶显影机 1 台，中标福建晋华 1 台涂胶显影机。

上海精测合计中标 1 台：中标福建晋华 1 台电子显微镜。

盛美上海合计中标 1 台：中标福建晋华 1 台湿法清洗设备。

另外，根据中国国际招标网数据，今年1-3月国产设备厂商中标结果显示：北方华创13台，包括薄膜/干法刻蚀/炉管；盛美上海9台，包括湿薄膜/湿法/后道封装；拓荆科技3台，均为薄膜设备；华海清科3台，均为CMP设备；芯源微2台，均为涂胶显影设备；上海微电子2台，为炉管设备；至纯1台，为湿法清洗设备；中科信1台，为离子注入设备；吉姆西（二手设备厂商）3台，为CMP及检测/量测设备。