至纯科技：湿法清洗设备可实现国产替代

集微网消息，近日，至纯科技在接受机构调研时表示，公司湿法清洗设备可覆盖28纳米全工艺工序段并有重复订单，在14及7纳米制程也有数台订单交付客户，公司在湿法清洗领域可实现国产替代。

据介绍，单片硫酸设备为湿法设备中难度最高的工艺机台，至纯科技S300 SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上。单设备在用户量产线上的累计产量已超过20万片次，是为高阶湿法设备国产替代进口的重要里程碑。至纯科技表示，目前公司是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商。

至纯科技同时称，公司湿法设备应用于成熟制程的产品线拓展有序，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。应用于先进制程的高阶产品线，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。

至纯科技同时从系统集成延伸至盈利能力更强的材料端，2022年初建成国内第一座电子级大宗气供应工厂，目前已稳定运行一年多，每年可贡献稳定的营收，这是国内完全自主建设的第一座ONSITE大宗气供应工厂，至纯科技表示，公司继续在电子气电子化学品方面拓展业务及品类，增加电子材料端的业务投入。

（校对/占旭亮）