弗劳恩霍夫协会开发基于CMOS工艺的微镜阵列技术

集微网消息，德国应用科技研究机构Fraunhofer IPMS日前展示了其开发的光子微系统，使用微型可控镜组调制光，以创建独特的图像和结构。这些所谓的空间光调制器 (SLM) 是在半导体芯片上集成多达数百万个微镜组成阵列。

微镜阵列在半导体制造、显微镜和全息术方面都有应用，使该机构走在了该领域国际研究的前沿。

在其自己的实验室和1500平方米的洁净室中，弗劳恩霍夫光子微系统研究所IPMS开发了各种基于200毫米晶圆技术的特定应用空间光调制器。为了实现每个微镜的单独偏转，高度集成的电子电路（ASIC）被用作组件架构的基础。与单片集成MEMS（微机电系统）技术相结合，创建了独特的微镜阵列。

其突破性技术是CMOS集成微镜阵列的技术平台，其中每个微镜都可以通过两个倾斜轴单独偏转。该设备由512x320个可单独寻址的镜子组成，像素尺寸为48μm，能够重定向光束或生成和控制具有可变强度的2D强度分布和图案。

此外，Fraunhofer IPMS还开发驱动设备的电子设备和软件。为了促进技术转化为应用，该研究所向客户提供评估套件。可供试用的设置不仅包括微镜芯片本身，还包括包括软件在内的完整控制电子设备。