怎样保证分子真空泵稳定且持久地运行？

作为一种真空获得设备，分子真空泵（以下简称分子泵）因其工作稳定可靠，在分子流态下具有很好的抽气效率，已经成为清洁高真空、超高真空应用领域的主流设备，在科学仪器、工业生产中得到广泛应用。

图表：分子泵在下游中的主要应用1

在进入21世纪之前，分子泵主要存在于科研与国防军工领域。近十年间，随着镀膜、节能灯、显示屏等新兴产业的兴起，分子泵逐渐在民用领域崭露头角并取得了快速发展2。尤其是半导体产业国产化进程的不断推进和新能源锂电池、光伏设备需求增长，使得国内分子泵行业的市场规模一直处于上升趋势。相关机构预测到2026年，中国分子泵行业市场规模将达到31.0亿元。

近几年，分子泵向智能、灵活、高效的方向发展，在传统分子泵基础上，可实现无接触支撑、高效率、高寿命的磁悬浮分子泵等产品获得广泛应用。产品核心技术大力发展的同时，与其配套的产品服务也向着更加专业、经济、高效的人性化方向迈进，这也是市场竞争发展的趋势之一。

分子泵的工作原理

分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同。分子泵是基于动量传递原理，在变频电源驱动电机的带动下高速旋转，分子流区域内气体分子与高速转动的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。

分子泵应用于高真空和超高真空度范围（约10-1~10-8Pa），无法在大气压强下直接使用，其正常工作需要一定的启动压强（分子泵启动压强一般为0.1~100Pa），通常使用时需要连接低真空泵种作为前级预抽真空泵。分子泵机组是以分子泵为主泵，以旋片泵、涡旋泵为前级泵串联而成的组合真空设备，运行后能迅速使密闭空间获得高真空。

分子泵按结构和工作原理可分为涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵三种。

分子泵分类：（a）涡轮分子泵。（b）复合分子泵

立式涡轮分子泵的结构组成

分子泵维护保养的专业性

虽然分子泵已经走进工业领域的各个环节，但在应用端许多人对它却并不熟悉。不同于传统的油扩散泵，分子泵是一种高精密机械设备。例如，分子泵抽气单元部分，其中最小间隙小于0.5mm，最大也不超过3mm。而且分子泵的主轴精度都在微米量级，微量的形变就会导致设备发生故障2。

普发涡轮分子泵中的复合轴承悬浮设计3

另外，分子泵对于开机检查、存放的温度与相对湿度及拆卸步骤都有明确要求。其复杂的理论与结构决定了分子泵维护、维修与保养的难度。只有了解并掌握专业的知识理论和实操经验，才能使分子泵稳定、持久地工作。

分子泵的维修流程

综上，高质量的分子泵，背后需要专业的维修保养团队给予技术支持，以获得更长的设备使用率和更低的设备故障率。在实际应用中，此项工作一般是由分子泵设备制造商来完成的。所以，分子泵的售后服务对于客户来说，是产品本身不可或缺的一部分。

普发真空中国服务理念

普发真空作为全球领先的真空设备和服务供应商，在提升技术核心竞争力，保证分子泵产品质量的同时，也为客户提供了一流的服务体系，确保分子泵高效且长久运行。为此，普发真空推出中国服务理念，致力于提供性能可靠的产品和优质的服务以满足国内市场需求。

针对真空设备的维护、保养及维修，普发真空中国服务理念有开机检测、预防性保养服务及设备故障报修服务三大专业措施。

【视频】普发真空中国服务理念

● 在设备使用前，普发真空提供免费的开机检测服务。专业的安装、开机设定、健康检测及日常维护保养培训，确保分子泵及相关设备正常投入使用。

● 在设备使用中，普发真空提供预防性保养服务。专业人员到场对设备进行保养，现场更换工作液、密封件、易损件及现场点检。如需返厂保养，普发真空会对设备进行全面的检查和检测，彻底更换工作液、全面更换密封件和易损件，并提供延保6个月的支持。

● 如设备出现故障，普发真空提供设备故障报修服务。服务前普发真空将与客户进行沟通，预判故障原因和点位，让现场服务更高效。支持现场更换服务，比如涡轮分子泵可现场更换轴承。如果需要返厂维修，普发真空拥有标准交换服务，即可提供一台同型号运行良好的设备，以确保生产的有序进行。

普发真空保证以上所有服务都采用原厂的配件和工具并出具检测报告，服务执行标准通过全球认证。标准交换服务提供的良品均经过认证，并提供等同质保。

专业设备+完善服务，不仅仅是客户保障生产安全和生产效率的关键，也是助力真空行业健康稳定发展的重要举措。从原厂备件到定制服务，普发真空专业的销售工程师和维修团队一直践行反应快速且经济实惠的端到端服务，成为时刻陪伴客户的真空技术专业管家。

作者：iVacuum真空聚焦

参考文献

1 图表来源于前瞻产业研究院

2 《分子真空泵的理论与实践》 第九章-分子泵的维护保养和维修，作者：巴德纯，王晓冬等

3 图片来源于普发真空官网