和其光电新品上市半导体领域关键设备实现国产替代

来源:半导体产业网发布时间:2023-08-082159浏览

近日，西安和其光电科技股份有限公司(以下简称“和其光电”)最新研发的多款红外测温设备成功交付，标志着我国半导体领域又一关键设备实现了国产替代，突破了“卡脖子”难题。

半导体制造需要经历晶圆生长、外延、刻蚀等多个工序，在每个工序中，温度的控制和监测对于确保产品质量和一致性至关重要。长期以来，我国半导体领域的高端测温设备一直被国外厂商垄断，成为制约芯片产业发展的“卡脖子”难题。尤其近年来，在美国的极力遏制打压下，国内半导体企业已经遭遇“断供”，国产替代刻不容缓、迫在眉睫。

“2022年8月，我们瞄准国产替代，启动了技术攻关，与行业伙伴共渡难关。”和其光电研发总监方笑尘说。

经过研发人员夜以继日持续攻坚克难，最终，半导体的红外测温领域所有技术路线都被打通，测温精度最高达到±0.15%，各项指标已经达到或超过国外同类产品。在此基础上，和其光电一鼓作气相继推出了十几款产品，以满足各类半导体企业的不同需求。

据方笑尘介绍，和其光电目前已经有比色红外、单色红外及光导管型三款测温设备成功交付客户，另外还有8款样机正在接受验证。“随着这些产品的日渐成熟，我国半导体测温设备突破封锁、实现国产替代便指日可待。”

冰冻三尺，非一日之寒，和其光电的技术突破，也非短短数月之功。

和其光电成立于2011年，是在西安高新区“一院一所一校”模式下，由中科院西安光机所孵化的高科技企业。自成立以来，和其光电依托中科院西安光机所50多年的技术积累，以市场需求为导向，在测温领域持续深耕，曾成功获得首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜优秀奖、国家电网科学技术二等奖、河北省科学技术进步二等奖、中国电工技术协会科学技术进步一等奖、中国电力联合会年度电力科技创新一等奖等一系列科技创新奖项，并逐步成长为全球知名的变压器绕组光纤温控系统品牌商之一。