热门的CoWoS工艺详解

来源:半导体行业观察发布时间:2023-07-274979浏览

来源：内容由半导体行业观察（ID：icbank）编译自semianalysis，谢谢。

人工智能正在蓬勃发展。每个人都想要更多的人工智能加速器，而主要的限制因素是将 5nm ASIC 和 HBM 组合在一起的 CoWoS 先进封装工艺，其产能容量不足导致 GPU 短缺，这种短缺将持续到明年第二季度。

在之前的文章，我们讨论了, 等大客户要求台积电增加多少CoWoS容量我们还解释了终端市场用例、CoWoS 容量分配以及 CoWoS 的需求方。

今天我们来谈谈供给侧。台积电正在向设备制造商紧急订购，填充其位于竹南的新先进封装。三星、英特尔、Amkor、JCET 和 ASE 也在扩展他们的竞争技术，以分得一杯羹。由于一些通用数据中心支出被生成型人工智能支出（例如内存和 CPU）所蚕食，了解仍在增长的支出对于了解供应链至关重要。

CoWoS 是台积电的一种“2.5D”封装技术，其中多个有源硅芯片（通常的配置是逻辑和 HBM 堆栈）集成在无源硅中介层上。中介层充当顶部有源芯片的通信层。然后将内插器和有源硅连接到包含要放置在系统 PCB 上的 I/O 的基板上。CoWoS 是最流行的 GPU 和 AI 加速器封装技术，因为它是共同封装 HBM 和逻辑以获得训练和推理工作负载最佳性能的主要方法。

接下来，我们将详细介绍 CoWoS-S（主要变体）的关键制造步骤。

硅中介层关键工艺步骤

第一部分是制造硅中介层，其中包含连接芯片的“电线”。这种硅中介层的制造类似于传统的前端晶圆制造。人们经常声称硅中介层是采用 65 纳米工艺技术制造的，但这并不准确。CoWoS 中介层中没有晶体管，只有金属层，可以说它与金属层间距相似，但事实并非如此。

这就是为什么 2.5D 封装通常由领先的代工企业内部完成，因为他们可以生产硅中介层，同时还可以直接访问领先的硅。虽然日月光 (ASE) 和 Amkor 等其他 OSAT 已完成类似于 CoWoS 或 FOEB 等替代品的先进封装，但他们必须从 UMC 等代工厂采购硅中介层/桥接器。

硅中介层的制造首先采用空白硅晶圆并生产硅通孔 (TSV)。这些 TSV 穿过晶圆，提供垂直电气连接，从而实现中介层顶部的有源硅（逻辑和 HBM）芯片与封装底部的 PCB 基板之间的通信。这些 TSV 是芯片向外界发送 I/O 以及接收电源的方式。

为了形成 TSV，晶圆上涂有光刻胶，然后使用光刻技术进行图案化。然后使用深反应离子蚀刻 (DRIE) 将 TSV 蚀刻到硅中，以实现高深宽比蚀刻。使用化学气相沉积 (CVD) 沉积绝缘层（SiOX、SiNx）和阻挡层（Ti 或 TA）。然后使用物理气相沉积 (PVD) 沉积铜种子层。然后使用电化学沉积 (ECD) 用铜填充沟槽以形成 TSV，通孔不穿过整个晶圆。

TSV 制造完成后，再分布层 (RDL) 将形成在晶圆的顶部。将 RDL 视为将各种有源芯片连接在一起的多层电线。每个 RDL 由较小的通孔和实际 RDL 组成。

通过 PECVD 沉积二氧化硅 (SiO2)，然后涂覆光刻胶并使用光刻对 RDL 进行图案化，然后使用反应离子蚀刻去除 RDL 通孔的二氧化硅。此过程重复多次，以在顶部形成较大的 RDL 层。

在典型的配方中，溅射钛和铜，并使用电化学沉积 (ECD) 沉积铜。然而，我们认为台积电使用极低 k 电介质（可能是 SiCOH）而不是 SiO2 来降低电容。然后使用 CMP 去除晶圆上多余的电镀金属。主要是标准的双镶嵌工艺。对于每个附加 RDL，重复这些步骤。

在顶部 RDL 层上，通过溅射铜形成凸块下金属化 (UBM：under bump metallization) 焊盘。施加光刻胶，通过光刻曝光以形成铜柱图案。铜柱经过电镀，然后用焊料覆盖。光刻胶被剥离，多余的 UBM 层被蚀刻掉。UBM 和随后的铜柱是芯片连接到硅中介层的方式。

晶圆上芯片关键工艺步骤

现在，使用传统的倒装芯片大规模回流工艺将已知的良好逻辑（Known good logic）和 HBM 芯片附着到中介层晶圆上。助焊剂涂在中介层上。然后，倒装芯片接合机将芯片放置到中介层晶圆的焊盘上。然后将放置有所有芯片的晶圆放入回流焊炉中烘烤，以固化凸块焊料和焊盘之间的连接。多余的助焊剂残留物被清除。

然后用树脂填充有源芯片和中介层之间的间隙，以保护微凸块免受机械应力。然后再次烘烤晶圆以固化底部填充胶。