量产8吋外延片、签超10亿长单！这家公司报喜

外延生长是SiC器件制造的核心环节，扮演着承上启下的作用，其外延质量和缺陷率将直接影响着器件的性能和良率，据SiC外延生长CVD设备供应商纳设智能介绍，SiC外延生产成本约占SiC器件总体成本的23%。

简单来说，SiC器件的降本增效与外延环节也息息相关，而大尺寸的外延片有利于提高产量，并缩减生产成本，因此，8英寸外延片的市场需求逐年提高。然而，8英寸外延片的制备技术和工艺门槛较高，目前能够量产8英寸外延片的厂商并不多，不过，国内SiC外延主要生产商近日传来了好消息。

近期，瀚天天成在第五届深圳国际半导体技术暨应用展览会上宣布，已实现了8英寸碳化硅外延工艺的技术突破，拥有了国产8英寸SiC外延片的量产能力，并且最近签署了多项长期合约，其中包括价值超过1.92亿美元（约合人民币13.91亿元）的8英寸长期合约。

Source：瀚天天成

目前，瀚天天成正在积极扩充产能，截至2022年8月消息，其拟在厦门新增75条SiC外延片生产线（配套尾气净化器）、1套纯水机组及其他生产设备，预计新增SiC外延片30万片/年的生产能力。

瀚天天成介绍，目前公司生产的SiC外延晶片质量达到国际先进水平，厚度均匀性小于3％，浓度均匀性小于6％，并且2mm*2mm管芯的良率超过98％。这一技术突破标志着我国已经具备商业化的8英寸SiC外延生长技术，进一步推动SiC外延材料的国产化进程。（文：化合物半导体市场 Jenny整理）

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