破解卡脖子难题，宇电携AI-8半导体专用串级温控器亮相集微峰会

集微网消息 2023年6月2—3日，第七届集微半导体峰会将在厦门国际会议中心酒店举办。业内诸多知名半导体企业出席现场，厦门宇电自动化科技有限公司（简称“宇电”）便是其中一员。

据了解，宇电是中国智能调节器和温控器的龙头企业，宇电拥有两座建筑面积分别为1万平方米和5万平方米的现代化工业厂房，年产各种型号智能温控仪表160万台，广泛应用在热处理、电炉、新能源、化工、半导体设备、晶体生长、超导材料及精密实验设备等上百个行业领域。例如，央视《大国重器》中介绍的三一重工生产1800兆帕高强钢，加热炉的温度控制就采用了宇电仪表。

宇电公司是中国“温度控制的天花板”，专注智能温控器三十年。与普通PID温控器不同，半导体生产过程很多环节需要精密温度控制，比如扩散、氧化、刻蚀、PECVD等过程使用的串级温控器需要高端复杂调节算法，以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。作为温控器应用的高端市场，半导体制造领域对温控器的产品精度、可靠性、抗干扰性和稳定性要求均非常苛刻。宇电是国产唯一一家能应用在高端半导体设备、晶体生长、精密实验设备等高端行业的企业。

重磅产品：宇电AI-8半导体专用串级温控器强势突围

本届峰会上，宇电展出其核心产品AI-8x9系列温控器。

据悉，AI-8半导体设备专用温控器最大的技术突破，解决了半导体设备中的复杂串级控制问题，通过智能自动定标技术让串级仪表的调试工作和普通单回路PID仪表的一样简单，遇到复杂控制对象也能轻松应对。

该产品打破了国外的技术垄断，填补半导核心设备温控应用领域国内空白，在国家科技成果鉴定中被行业资深专家评定为国际先进。目前AI-8半导体设备专用温控器成功应用在扩散炉、氧化退火炉、等离子多晶硅薄膜积淀炉PECVD等设备，斩获大量客户订单。

从技术来看，AI-8半导体设备专用温控器运用宇电全新升级的AI人工智能调节算法，可自动识别不同场景，如改变给定值、纯滞后延迟、额外扰动、开炉门、意外断电等多种现场场景并模拟专家思路调整PID控制器的工作状态，在多种不同应用场合均能实现无超调和无欠调的精确控制。AI-8半导体设备专用温控器，有0.05-0.2级多种精度可选，根据不同精度等级应用5-25ppm/℃的低温漂电阻，提升产品的性能和可靠性。

值得一提的是，经过两年严格测试，通过静电、浪涌、群脉冲、高温、高湿、快速温变等环境适应性测试，AI-8半导体设备专用温控器可适应各种复杂工况条件，抗干扰能力和测控效果达到完美标准。

宇电推出的半导体设备专用串级温控器解决关键卡脖子技术的同时，产品也成功通过国内光伏龙头企业的产线验证，成为国内唯一一家通过光伏半导体市场验证的国产温控器企业。

目前在我国半导体产业上游设备领域，部分高端设备及核心器件仍高度依赖国外品牌。在此背景下，半导体产业俨然成为全球主要国家竞相争夺的战略高地，同时在半导体设备领域，提升国产化率并推动自主可控势在必行。

不仅如此，在5G和“碳中和”的时代背景下，业内对于效率优化、安全和节能的需求也大幅增加，这也推动着温控器产品的持续革新。光伏半导体的成功突破，助推宇电向要求更苛刻的微电子、集成电路制造等领域拓展，推出更高性能的温控产品，加快高端半导体设备国产化进程。

（校对/Chaya）