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来源:化合物半导体市场发布时间:2023-05-12954浏览
询问 AI热场及耗材国产化率达到95%以上;
长晶良率达到80%以上,晶体厚度达到40mm以上;
打破传统碳化硅粘接籽晶技术的限制;
突破了大尺寸8英寸碳化硅单晶制备的关键技术;
具备超强的兼容性;
已申请专利129项,目前授权专利61项。
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