牛津仪器公司将提供KAUST

公司将提供硬件升级和ALE，以实现完整的ALE和ALD原子级处理能力

牛津仪器等离子体技术公司宣布与沙特阿拉伯阿卜杜拉国王科技大学（KAUST）核心实验室达成一项重要协议。

根据该协议，KAUST将受益于增加两个牛津仪器PlasmaPro100 Cobra原子层蚀刻（ALE）系统，以增加其现有的牛津仪器FlexAL原子层沉积（ALD）能力。

KAUST表示，有了ALE和ALD模块可以更好地发展他们的研究，并在GaN HEMT界面电荷起源和GaN HEMT高抑制界面阱等项目上弥合学术界和工业界之间的差距。

该协议包括对沉积和蚀刻设备的升级，包括FlexAL、IonFab和电感耦合等离子体（ICP）蚀刻系统，这些系统已经安装在KAUST的研究实验室。升级计划包括X20可编程逻辑控制器（PLC）的安装和持续支持。此外，这些模块将使用牛津仪器公司最新的软件控制应用程序PTIQ进行更新，用于过程诊断和预防性维护跟踪的数据记录和分析。

KAUST纳米制造核心实验室实验室主任Ken Kennedy表示：“该协议延续了KAUST最先进的设施和技术专长的发展，吸引了世界上最好的研究人员和最聪明的学生。”他补充道，“这项投资强调了KAUST教师和共享设施之间的合作，支持王国进行先进的科学技术教育和研究。”

牛津仪器公司的质量和数字总监Dean Furlong表示：“这项协议是一个很好的例子，表明我们有能力与全球研发市场的关键客户发展长期战略合作伙伴关系，并通过我们广泛的升级产品组合和服务解决方案为他们提供支持。这是KAUST一项重大投资，将提高其作为国际公认用户设施的声誉，并通过增加ALE功能进一步支持其尖端ALD研究。”

苏州会议

雅时国际(ACT International)将于2023年5月23-24日,在苏州组织举办主题为“2023-半导体先进技术创新发展和机遇大会”。会议包括两个专题：半导体制造与封装、化合物半导体先进技术及应用。分别以“CHIP China晶芯研讨会”和“化合物半导体先进技术及应用大会”两场论坛的形式同时进行。详情点击链接查看：https://w.lwc.cn/s/nAjqi2