EUV光刻机被砍单？业者：不太可能！

来源:半导体行业观察发布时间:2023-04-18800浏览

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终端市场需求低迷，近期市场传出台积电将宣布调降今年资本支出，恐冲击艾司摩尔（ASML）及应用材料等设备厂出货，甚至传出艾司摩尔极紫外光（EUV）机台被砍单消息，不过业界普遍认为可能性不高，原因在于EUV机台交期长达12～15个月，且中长期来看EUV产能仍供不应求。

艾司摩尔预计19日举行法人说明会，可望针对EUV曝光机已接订单（backlog）变化提出说明。半导体生产链仍在进行库存调整，市场传出台积电可能在法人说明会中下修全年资本支出，加上记忆体厂放慢扩产计画，将导致EUV曝光机订单减少或延后，受此消息影响，EUV概念股明显有压。

不过，业界人士对于EUV曝光机被砍单消息有所质疑，主要原因在于EUV设备是属于订制化生产，且设备系统交期长达12～15个月，所以采购EUV机台是属于中长期的产能规划，并不会因为短期的景气循环波动而砍单。

以目前主流的0.33数值孔径（NA）来说，5纳米逻辑制程每片晶圆平均EUV光罩层逾10层，但3纳米逻辑制程每片晶圆平均EUV光罩层约将倍增达20层以上，而EUV机台每小时晶圆产出（throughput）提升缓慢，随3纳米制程开始导入量产，反而需要更多机台因应产能提升及制程微缩，整体EUV产能仍供不应求。

业者表示，短期景气循环冲击半导体厂资本支出，但台积电、英特尔、三星等大厂在先进制程的投资并没有缩减，所以EUV曝光机交期也没有因近期景气变动而缩短。目前业界普遍认为市场景气下半年缓步复苏，明年进入新的成长循环，所以不太可能在这个时间点对EUV机台砍单。

ASML遭大客户首次大砍单，恐达4成！

由于半导体产业的恶化也影响到晶圆代工，去年年底，台积电面临对其电脑和智能手机组件的需求下降，其中一些组件是使用相当现代的技术工艺生产的，涉及使用 EUV 设备。据台媒DigiTimes报道，台积电现在正在认真考虑减少从 ASML 订购的 EUV 光刻设备的数量。

报道称，订单削减可达到40%，这将是台积电与ASML在EUV光刻方向的合作史上首此削减订单。作为替代方案，ASML正在考虑延迟供应台积电现在迫切需要的设备。事实上，对于 ASML 来说，后一种选择更为可取，因为该公司需要排长队来完成订单，并且只会将原本为台积电准备的设备重新分配给其他客户。同时，肯定会避免收入损失。

据Korea IT Times的报道，台积电今年3月销售额为新台币1454.8亿元，约合6.3万亿韩元，较去年同月下滑15.4%。这是自 2019 年 5 月以来台积电月度销售额首次出现下滑。这比2月份下降了10.9%，是自2021年10月录得新台币1,345.39亿元以来 17 个月以来的最低月度销售额。

台湾业者预测，今年台湾半导体产业长期惨淡。指出台湾其他无晶圆厂和设计公司的低迷将影响台积电。台湾工商时报援引美国消息人士的话说，“来自台湾第三大半导体公司联发科的订单减少，将对台积电产生不利影响。”他说。以苹果为例，预计5月后因新品推出需求将增加，但台积电产能利用率暂时回升的可能性不大，因为中国的小米、传音，以及英伟达、高通、英特尔等都处于停产状态。减少订单。随着盈利转为下滑趋势，台积电有望认真调整投资速度。据台湾IT媒体《Digi Times》报道，台积电正在考虑将台湾新厂建设推迟6至12个月的计划。此外，今年的设施投资（CAPEX）目标也有下调的可能。

虽然美国、荷兰和日本加起来几乎垄断了全球芯片设备市场，但中国公司是它们最大的客户之一。对于ASML而言，中国大陆是该公司去年的第三大市场，占其211亿欧元（229 亿美元）净销售额的13.8%。

图源：财新

ASML：今年原本计划出货60台EUV光刻机

ASML 的首席财务官 Roger Dassen 在2月份的一次采访中告诉韩国经济日报，“我们有五个 EUV 系统客户......由于需求强劲，我们正在提高 EUV 系统的产能。正如我们在今年 1 月的 2022 财年第四季度财务业绩演示中宣布的那样，我们计划在 2023 年出货约 60 个 EUV 系统（以及约 375 个 DUV 系统）。”此前，它每年生产约 40 台，生产一台 EUV 扫描仪大约需要两年时间，而每台设备的成本为 1.5 亿至 2 亿美元。

“在去年 11 月的投资者日期间，我们确认了到 2025-2026 年 600 个 DUV（深紫外）、90 个 EUV 系统和到 2027-2028 年 20 个 EUV 高 NA 系统的产能计划。“因此，我们正在大幅扩大产能以满足需求。展望 2023 年，由于对通胀、利率上升、经济衰退和地缘政治环境（包括出口管制）的一系列全球宏观担忧，市场仍存在很多不确定性。”

“客户仍然看到消费者驱动的终端市场需求疲软，最显著的是 PC 和智能手机，数据中心需求的一些迹象显示疲软或增长率下降，而汽车和工业等其他终端市场的需求依然强劲。但总的来说，对我们系统的需求仍然强劲。今年，需求仍然超过我们的产能，我们以 404 亿欧元的积压进入了这一年，因此我们的重点仍将放在最大化系统输出上。我们已经经历了几个季度非常强劲的预订，现在积压覆盖范围大大超过 2023 年，这几乎是 2023 年预期系统销售额的两倍。”

ASML加大在台投资，研发2nm

此前据中央社的报道，ASML在台砸重金投资，并针对2纳米晶圆光学量测设备研发制造，向中国台湾“经济部”申请A+ 企业研发补助案。中国台湾“经济部”表示，将以两面向审查，包括如何协助供应链技术升级以及本地自制率，最快5 月拍板定案。

阿斯麦（ASML）去年宣布在台湾扩大投资，新北市长侯友宜透露，预计落脚林口，第一期投资金额达新台币300亿元，约2,000名员工进驻。

不仅在台湾扩大投资，阿斯麦去年也向经济部递件申请，针对2纳米晶圆光学量测设备提出研发补助计划，经济部已受理审查，依规定一旦审查通过，政府补助比例会低于5成。

“经济部”官员表示，审查重点为如何提升本土技术、本土自制率；目前台厂供应链已具备深紫外光（DUV）设备中的光罩传输模组制造能力，这次阿斯麦计划案包含晶圆传输模组，期盼借此导入本土供应链。

“经济部”官员指出，事实上，先前阿斯麦的光罩传输模组搬来台湾制造，让台湾成为阿斯麦DUV光罩传输模组全球唯一制造基地，带动台厂帆宣、公准和神咏等供应链厂商成长，藉由外商在台扩大投资、研发等，持续提升本土供应链技术升级。

阿斯麦申请案将进入实质审查的第二阶段，“经济部”官员表示，预估5月召开决审会议拍板通过，届时经济部补助额将明朗化。

经济部「A+企业创新研发淬链计划」补助企业投入创新研发和前瞻产业技术开发，每年预算约新台币20亿元，计划吸引国际大厂来台研发生产，同时帮助岛内业者打进前段设备的供应链。

从2003年，ASML在新竹成立子公司以来，跟台积电等台湾厂商，一起成长茁壮，而台湾更成为了全球唯一，DUV光罩传输模组的制造基地。阿斯麦今年即将动土的投资案，将是公司有史以来在台湾最大的投资金额。

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