敲定光刻机开发合作伙伴，俄罗斯提供百亿卢布信贷支持

集微网消息，据外媒报道，俄罗斯、白俄罗斯日前制定了关键零部件基地清单以及微电子领域合作路线图，俄罗斯方面将为两大白俄罗斯微电子领域项目提供约100亿卢布信贷支持，受资助企业包括集成电路成套工艺领域的Integral和精密光刻设备领域的Planar。白俄罗斯方面还透露，已经签署了关于建立两国光掩模开发和生产联合中心的协议。”这将使我们能够开展联合开发工作并减少白俄罗斯和俄罗斯消费者对进口供应的依赖”。

白俄罗斯官员强调，这种合作对俄罗斯联邦和白俄罗斯共和国都是互惠互利的。明斯克和莫斯科在进口替代领域的项目将在规定的时限内完成。

资料显示，Planar公司（KBTEM-OMO）是东欧最大的半导体设备供应商，已有50余年的半导体设备研发与制造历史，其产品包括基于激光直写的图形发生器、掩模检测设备、掩模修补设备、接近/接触光刻机、投影光刻机与硅片检测设备等。