微导纳米：公司ALD设备已取得国内多家知名半导体公司商业订单

集微网报道 4月13日，微导纳米披露最新调研纪要称，目前，半导体行业薄膜沉积设备中，ALD 技术是最先进的镀膜技术之一，相关设备是先进制程所必须的工艺设备，国产化亟待提高，市场前景广阔。根据公开的市场数据统计，公司连续两年 ALD 产品收入规模在国内同类企业中排名第一。

公司已在逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等细分应用领域取得了国内多家知名半导体公司的商业订单，目前客户端产线认证工作正在积极推进中，并取得部分工艺端重复订单。

微导纳米进一步指出，半导体设备行业属于技术密集型行业，制造工艺极其复杂，且下游客户主要为集成电路制造商，对设备的质量、技术参数、长期稳定性等方面都有非常严格的要求。因此，半导体设备厂商需要长时间的技术积累，并与客户相互配合，针对不同需求进行单独的验证，包括工艺、器件等多方面的验证工作，整体产业化需要较长的周期。

而在“碳中和”的背景下，光伏行业快速发展，装机量持续增加，太阳能电池产品需求旺盛，客户产能扩充计划加速。微导纳米称，随着公司与行业多家头部客户共同研发的 TOPCon 新型高效电池生产线实现规模化的量产，TOPCon 产能率先放量，新建产能快速增长。同时，公司在 HJT 电池、钙钛矿叠层电池等新一代新型高效电池路线储备了相关的技术和产品，既抓住了当下市场发展的机遇，也储备了未来发展的潜力。

关于ALD 技术在柔性封装中的应用，微导纳米表示，由于 OLED 器件被水和氧气渗透后极易发生老化变性，导致器件亮度和使用寿命出现明显衰减，因此需要使用阻水阻氧材料进行封装保护。公司的 ALD 设备能够在大幅宽的材料表面沉积高性能阻隔层，具备良好的阻水阻氧能力，能够有效保护 OLED 器件的性能和寿命。